池田屋新品VAT 01.0小型超高真空闸阀01028-KE11正式发布

摘要：
近日，池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司01.0系列小型超高真空闸阀（型号：01028-KE11）。该产品采用VATMONOVAT技术，实现无摩擦可靠密封，压力范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar至2bar（绝对压力），泄漏率低于5×10⁻¹⁰mbar·L/s（阀体）/1×10⁻⁹mbar·L/s（阀座），阀体最高烘烤温度达200℃，全不锈钢材质，法兰标准为ISO-KF，配备气动单作用常闭执行器。该型号专为超高真空与严苛工艺隔离应用设计，为半导体、研究及高能物理等领域提供高可靠性、低颗粒、低释气的真空隔离解决方案。

正文：

在半导体制造、表面科学、高能物理及质谱分析等超高真空应用领域，真空闸阀需要在极低压力下实现可靠隔离，同时满足低颗粒产生、低气体释放及高温烘烤的严苛要求。对于需要远程自动控制的工艺系统，气动执行器成为标准配置。传统闸阀在密封摩擦、颗粒控制及烘烤温度方面存在局限，难以满足超高真空系统的严格要求。针对这一行业需求，池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司01.0系列小型超高真空闸阀（型号：01028-KE11）。该产品的推出，为超高真空系统提供了兼具无摩擦密封、低颗粒产生与气动远程控制能力的可靠隔离解决方案。

型号01028-KE11的核心技术优势在于其VATMONOVAT技术与气动单作用常闭执行器的创新结合。该产品采用MONOVAT技术，将密封件硫化到闸板上，实现无摩擦的可靠密封，有效减少颗粒产生，同时在低气体释放方面表现。特殊软关闭机制可最大限度地减少快速移动的闸门接触阀体对工艺过程造成的潜在冲击影响。产品不含润滑剂，真空中无阀门机构，消除了工艺污染的风险。压力范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar至2bar（绝对压力），适配从超高真空到正压的宽范围工况。泄漏率低于5×10⁻¹⁰mbar·L/s（阀体）/1×10⁻⁹mbar·L/s（阀座），密封性能优异。阀体采用AISI 304/316L不锈钢材质，波纹管为AISI 316L不锈钢，具有优异的耐腐蚀性与机械强度。闸板密封采用FKM材质（标准），阀盖密封为金属密封。阀门最高烘烤温度达200℃，加热/冷却速率≤50℃/h。电导38L/s，闸板压差≤2bar，开口处压差≤0.03bar，关闭时间0.7s，重量4.2kg。

在结构与操作灵活性层面，型号01028-KE11同样表现。该型号为DN 25（1英寸）规格，法兰标准为ISO-KF，执行器为气动单作用带闭合弹簧（常闭NC），配备位置指示器（最高80℃）。标准压缩空气压力范围5至7bar，气缸容积0.06L。电磁阀可根据需求选配。产品提供多种升级选项，包括客户特定法兰、附加端口、带窗闸板、带孔口固定装置、替代密封材料及高温位置指示器等。

从典型应用场景来看，型号01028-KE11适用于半导体制造中的超高真空传输与隔离、表面科学分析系统的真空隔离、高能物理实验装置的真空控制，以及质谱与气体分析系统的超高真空隔离等场景。池田屋技术团队指出，01.0系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健，是超高真空系统隔离应用的理想选择。

池田屋实业有限公司表示，此次将VAT 01.0系列小型超高真空闸阀01028-KE11引入国内市场，旨在为本土半导体、研究及制造企业提供兼具无摩擦密封、低颗粒产生与气动远程控制能力的真空隔离流体管理解决方案。未来，池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕，助力中国超高真空技术的装备升级与效能提升。