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更新时间：2026-05-20 
浏览次数：10EV-S 系列是日本荏原制作所（EBARA Corporation）推出的单级、干式、气冷式螺旋真空泵。该系列定位于为半导体、分析仪器、科研实验室及一般工业提供无油、洁净、耐腐蚀的粗真空环境。
EV-S 系列是荏原干式真空泵中的标准型/经济型产品线，在保证核心性能的同时，以紧凑结构、气冷设计、低维护成本为突出特点，特别适合对安装空间和运行成本有要求的用户。
2. 工作原理
EV-S 系列采用单级螺旋（螺杆）干式压缩原理：
一对相互啮合的螺旋转子在泵腔内同步反向旋转
气体从进气口吸入，在转子与泵腔之间被逐步压缩
最终从排气口排出，直接排向大气
转子之间及转子与泵腔之间保持精密间隙，无需任何润滑油密封
压缩热通过泵体散热片和内置强制风冷风扇散发，因此无需连接冷却水。
3. 核心特性
无油、洁净真空
泵腔内无油，排气不含油雾
无油蒸气回流，不污染工艺腔体或样品
无需油雾过滤器、油水分离器等耗材
气冷设计、无需水冷
自带冷却风扇，只需保证通风良好
无需铺设冷却水管，安装简便
无水路堵塞、漏水、结垢之忧
适合缺水地区或不便接水的场所
耐腐蚀能力强
泵体内部流道经过特殊涂层处理（如 Ni-P 化学镀镍或 PTFE 涂层）
可耐受半导体工艺中常见的腐蚀性气体（Cl₂、BCl₃、SF₆、HF 等）
可选更高等级涂层以适应强腐蚀应用
低噪音、低振动
精密动平衡的螺旋转子，运行平稳
可直接安装在机台内部或普通支架上
适合噪音敏感的实验室或洁净厂房
结构紧凑、轻量化
单级设计，零部件少
体积小、重量轻，节省安装空间
维护简便、运行成本低
无油品更换、无油过滤器、无油雾分离器
日常维护：检查进气口滤网、清理散热片
轴承采用长效润滑脂，寿命长
可处理水汽和微量粉尘
对水汽和少量粉尘有一定耐受能力
可选配氮气吹扫功能，稀释腐蚀性气体和可凝性蒸气
二、技术参数（以 EV-SA20 为代表）
注意：以下参数为 EV-SA20 的典型值。EV-S 系列中不同型号（如 SA10、SA15、SA20）的抽速和尺寸不同，其他参数类似。
1. 基本性能参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 抽速（50Hz） | 约 20 m³/h（≈ 330 L/min） |
| 抽速（60Hz） | 约 24 m³/h（≈ 400 L/min） |
| 极限压力 | ≤ 2.0 Pa（绝对压力） |
| 最大入口压力 | 大气压（1013 hPa） |
| 最大排气压力 | 大气压（直排） |
2. 电机与电气参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 电机功率 | 约 0.75 ～ 1.5 kW（视型号） |
| 电源电压 | 单相 AC 100V～115V / 200V～230V，或三相 200V（视型号） |
| 额定电流 | 约 5A～10A（视电压） |
| 启动方式 | 直接启动 |
| 电机防护等级 | IP54（标准型） |
| 绝缘等级 | F 级 |
3. 冷却方式
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 冷却方式 | 强制风冷（内置风扇） |
| 环境温度范围 | 5℃ ～ 40℃ |
| 最高排气温度 | 约 80℃ ～ 110℃（视工况） |
4. 接口与连接尺寸
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 进气口法兰 | ISO-KF 25 / KF 25（或 NW25） |
| 排气口法兰 | ISO-KF 16 / KF 16（带消音器） |
| 吹扫气体接口 | 1/8英寸或1/4英寸卡套（可选） |
5. 材质与耐腐蚀性
| 部件 | 材质 |
|---|---|
| 泵体 | 铝合金（经涂层处理） |
| 转子 | 铝合金或球墨铸铁（经涂层处理） |
| 涂层（标准型） | Ni-P 化学镀镍 |
| 涂层（耐腐蚀型） | PTFE（特氟龙）或 PFA |
| 密封件 | FKM（氟橡胶）或 FFKM（全氟醚橡胶） |
| 轴承 | 密封式深沟球轴承（长效润滑脂） |
6. 噪音与振动
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 噪音（1m处，带消音器） | ≤ 58 ～ 62 dB(A)（视型号） |
| 振动 | ≤ 1.5 mm/s（RMS） |
7. 环境与安装
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 工作环境温度 | 5℃ ～ 40℃ |
| 工作环境湿度 | ≤ 80% RH（无凝结） |
| 安装方式 | 水平安装（橡胶减震脚垫） |
| 防护等级 | IP54（标准型） |
8. 外形尺寸与重量
| 项目 | EV-SA20 典型值 |
|---|---|
| 长度（L） | 约 350 ～ 450 mm |
| 宽度（W） | 约 200 ～ 280 mm |
| 高度（H） | 约 250 ～ 320 mm |
| 重量 | 约 25 ～ 35 kg |
具体尺寸请以产品图纸为准。
9. 吹扫功能（可选）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 吹扫气体 | N₂（氮气）或干燥空气 |
| 吹扫流量 | 5 ～ 20 L/min（典型） |
| 作用 | 稀释腐蚀性气体、稀释可凝性蒸气、防止粉尘堆积 |
三、典型用途
1. 半导体制造（小型设备）
Load Lock（晶圆传输腔的快速抽空）
测量设备（如膜厚仪、缺陷检测设备的前级抽空）
小型蚀刻/沉积设备的辅助抽空
2. 分析仪器与科研
电子显微镜（SEM/TEM）：样品交换室预抽，避免油蒸气污染主腔体
质谱仪：作为前级泵，配合分子泵或涡轮分子泵
表面分析设备（XPS、AES、TOF-SIMS）：提供洁净的粗真空
泄漏检测仪（氦质谱检漏仪）的辅助泵
3. 实验室镀膜系统
蒸发镀膜（热蒸发、电子束蒸发）的粗抽
溅射镀膜（小型磁控溅射台）的粗抽
4. 一般工业
真空包装（小型真空包装机）
真空脱气（树脂、环氧树脂脱泡）
真空吸附/搬运（自动化产线上的小型工件抓取）
真空干燥箱、真空烘箱
5. 化学与制药（需耐腐蚀版本）
溶剂回收（小型蒸馏装置）
反应釜排气（抽除反应产生的少量气体）
四、EV-S 系列各型号差异（选型参考）
| 型号 | 抽速（50Hz） | 典型用途 |
|---|---|---|
| EV-SA10 | 约 10 m³/h | 分析仪器、小型实验室设备 |
| EV-SA15 | 约 15 m³/h | 电子显微镜、小型镀膜机 |
| EV-SA20 | 约 20 m³/h | 半导体小型设备、实验室通用 |
| EV-SA30 | 约 30 m³/h | 更大腔体的预抽 |
具体参数请咨询荏原代理商或查阅规格书。
五、与其他真空泵的对比
| 对比项 | EV-S 系列（干式） | 油旋片泵（同抽速） | 隔膜泵（同抽速） |
|---|---|---|---|
| 排气洁净度 | 无油 | 有油雾 | 无油 |
| 极限压力 | ≤2 Pa | ≤0.5 Pa | ≤10 Pa |
| 抽速稳定性 | 良好 | 良好 | 较低 |
| 耐腐蚀 | 良好（涂层） | 差（油易变质） | 一般 |
| 噪音 | ≤62 dB | ≤60 dB | ≤55 dB |
| 维护频率 | 低（无耗材） | 高（每月换油） | 中（更换膜片） |
| 总拥有成本 | 低 | 高 | 中 |
六、使用注意事项
前级泵配合：EV-S 系列可直接排大气，无需另配前级泵。
确保通风良好：气冷设计依赖空气对流，泵周围需留出足够空间（至少 10-15cm），不得堵塞进/出风口。
腐蚀性气体处理：抽除腐蚀性气体时，建议启用氮气吹扫功能，并在停机前吹扫 5-10 分钟，延长涂层和轴承寿命。
粉尘过滤：进气口建议安装 100 目左右的不锈钢滤网，防止大颗粒异物进入泵腔。
定期清理：每 1-3 个月用压缩空气吹扫散热片，防止灰尘堵塞导致过热。
环境温度：避免在高于 40℃ 的环境中运行，高温会降低冷却效果和抽速。
七、总结
EBARA 荏原 EV-S 系列（以 EV-SA20 为代表）是一款小抽速（10-30 m³/h）、风冷、无油、耐腐蚀的干式螺旋真空泵。
核心优势：
无油：排气洁净，适合分析仪器和洁净工艺
风冷设计：无需冷却水，安装简便
耐腐蚀：涂层保护，适应半导体等严苛工艺
紧凑轻量：节省安装空间
低维护：无耗材，运行成本低
低噪音：≤62 dB，适合室内使用
典型应用：
电子显微镜、质谱仪等分析仪器
半导体小型设备（Load Lock、测量设备）
实验室镀膜系统
真空包装、真空脱气等一般工业