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更新时间：2026-05-20 
浏览次数：10AA100W 是日本荏原制作所（EBARA Corporation）推出的一款单级、气冷式、干式螺旋真空泵。它属于荏原干式真空泵系列中的中型机型，定位于为半导体、平板显示（FPD）、光伏、分析仪器及一般工业领域提供清洁、可靠、易维护的粗真空环境。
“干式"意味着泵腔内不需要油或水作为密封或润滑介质。排出的气体洁净无油雾，不会污染工艺环境或被抽容器。这使得 AA100W 成为传统油旋片泵和液环泵的理想升级替代品。
2. 工作原理
AA100W 采用螺杆式（螺旋式）干压缩原理：泵腔内装有一对相互啮合的螺旋转子，在电机驱动下同步反向旋转。气体从进气口被吸入，随着转子的转动被逐步压缩，最终从排气口排出。转子之间以及转子与泵腔之间保持着极小的间隙，依靠精密的加工工艺实现密封，无需任何润滑油。
压缩过程中产生的热量，通过泵体表面的散热片和内置的强制风冷风扇散发出去——这就是“气冷式"的由来，无需连接冷却水管。
3. 核心特性
无油，排气洁净：排气中不含油雾，不会污染车间环境；没有油蒸气回流，不会污染被抽容器或工艺气体；无需油雾过滤器、油水分离器等耗材。
气冷设计，无需水冷：采用强制风冷，自带冷却风扇，只要周围通风良好即可正常运行。安装简单，无需水处理设备，无水路堵塞、漏水之忧。
耐腐蚀能力强：泵体内部流道经过特殊涂层处理（如化学镀镍或特氟龙涂层），能够耐受半导体和化工工艺中常见的腐蚀性气体（如氯气、氯化氢、氟化物等）。
低噪音、低振动：得益于精密的螺旋转子动平衡设计，运行安静，可直接安装在机台内部或普通支架上。
结构简单，维护方便：无油品更换、无油过滤器、无油雾分离器等耗材，日常维护主要是检查进气口滤网和清理散热片。
可处理水汽和少量粉尘：对水汽和少量粉尘有一定耐受能力，可通过氮气吹扫功能进一步保护泵体。
二、技术参数
注意：以下参数基于 EBARA AA100W 代表性规格整理。不同版本（标准型/耐腐蚀型/高排气温度型）可能存在差异，请以最新规格书为准。
1. 基本性能参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 抽速（50Hz） | 约 100 m³/h（≈ 1670 L/min） |
| 抽速（60Hz） | 约 120 m³/h（≈ 2000 L/min） |
| 极限压力 | ≤ 2.0 Pa（绝对压力） |
| 最大入口压力 | 大气压（1013 hPa） |
| 最大排气压力 | 大气压（直排） |
2. 电机与电气参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 电机功率 | 约 2.2 kW ～ 3.0 kW（视电压/频率） |
| 电源电压 | 三相 AC 200V～230V / 380V～460V（50/60Hz） |
| 额定电流 | 约 8A～12A（视电压） |
| 启动方式 | 直接启动或星三角启动 |
| 电机防护等级 | IP54 或 IP55 |
| 绝缘等级 | F 级 |
3. 冷却方式
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 冷却方式 | 强制风冷（内置风扇） |
| 环境温度范围 | 5℃ ～ 40℃ |
| 最高排气温度 | 约 80℃ ～ 120℃（视工况） |
4. 接口与连接尺寸
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 进气口法兰 | JIS VG 50 / ISO-KF 50（或 NW50） |
| 排气口法兰 | JIS VG 40 / ISO-KF 40（或 NW40，带消音器） |
| 吹扫气体接口 | 1/4英寸卡套接头（用于 N₂ 吹扫，可选） |
5. 材质与耐腐蚀性
| 部件 | 材质 |
|---|---|
| 泵体 | 铸铁或铝合金（经涂层处理） |
| 转子 | 球墨铸铁（经特殊涂层） |
| 涂层（标准型） | Ni-P 化学镀镍 |
| 涂层（耐腐蚀型） | PTFE（特氟龙）或 PFA |
| 密封件 | FKM（氟橡胶）或 FFKM（全氟醚橡胶） |
| 轴承 | 密封式深沟球轴承（长效润滑脂） |
6. 噪音与振动
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 噪音（1m处，带消音器） | ≤ 68 dB(A) |
| 振动 | ≤ 2.8 mm/s（RMS） |
7. 环境与安装
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 工作环境温度 | 5℃ ～ 40℃ |
| 工作环境湿度 | ≤ 90% RH（无凝结） |
| 安装方式 | 水平安装（橡胶减震脚垫） |
| 防护等级 | IP54（标准型） |
8. 外形尺寸与重量
| 项目 | 尺寸/重量 |
|---|---|
| 长度 | 约 500 ～ 600 mm |
| 宽度 | 约 300 ～ 400 mm |
| 高度 | 约 350 ～ 450 mm |
| 重量 | 约 80 ～ 100 kg（视配置） |
具体尺寸建议参考产品图纸或咨询荏原代理商。
9. 吹扫功能（可选）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 吹扫气体 | N₂（氮气）或干燥空气 |
| 吹扫流量 | 10 ～ 50 L/min（典型） |
| 作用 | 稀释腐蚀性气体、稀释可凝性蒸气、冷却转子、防止粉尘堆积 |
三、典型用途
1. 半导体制造
AA100W 广泛应用于半导体生产线的各种工艺设备：蚀刻设备（干法蚀刻腔体的排气和工艺气体抽空）、CVD 设备（化学气相沉积工艺前后的腔体抽空）、Load Lock（晶圆传输腔的快速抽空）、离子注入（束线腔和工艺腔的真空维持）。在这些应用中，无油、耐腐蚀、可靠性高是核心要求。
2. 平板显示（FPD）制造
LCD 和 OLED 面板制造中的沉积、蚀刻等工艺与半导体类似，同样需要清洁、耐腐蚀的真空环境。AA100W 的中等抽速非常适合面板产线的多种工艺腔体。
3. 光伏（太阳能电池）制造
PECVD 设备（沉积氮化硅减反射膜时的工艺排气）、干法蚀刻（边缘隔离和 PSG 去除工艺）。
4. 分析仪器与科研
电子显微镜（SEM/TEM）（样品交换室的预抽，避免油蒸气污染主腔体）、质谱仪（作为前级泵，配合分子泵或涡轮分子泵使用）、表面分析设备（XPS、AES）（提供洁净的粗真空）、实验室镀膜系统（蒸发镀或溅射镀的粗抽）。
5. 一般工业
真空包装（食品或电子元件的真空封装）、真空脱气（树脂、环氧树脂在灌封前的脱泡处理）、真空吸附/搬运（自动化产线上的工件抓取）、热处理炉（保护气氛下的真空排气）。
6. 化学与制药（需耐腐蚀版本）
溶剂回收系统（粗真空下的蒸馏浓缩）、真空干燥（对热敏感物料的低温干燥）、反应釜排气（抽除反应产生的气体）。
四、总结
EBARA 荏原 AA100W 是一款中等抽速、风冷、无油、耐腐蚀的干式螺旋真空泵。其核心优势在于：无油排气、无需冷却水、耐腐蚀涂层保护、低维护成本、运行安静可靠。
如果您正在寻找一种能够替代油旋片泵、提升工艺洁净度、降低维护负担的粗真空解决方案——无论是半导体制造、分析仪器配套、实验室应用，还是一般工业抽空，AA100W 都是一个经过验证、值得考虑的选择。