池田屋正品 FITOK飞托克 原子层沉积隔膜阀 ALD6LV-CS11-4-HT-CF3
FITOK（飞托克）推出的 ALD 系列原子层沉积隔膜阀，型号ALD6LV-CS11-4-HT-CF3 ，是一款专为半导体原子层沉积（ALD）工艺设计的高温隔膜阀。

池田屋正品 FITOK飞托克 原子层沉积隔膜阀 ALD6LV-CS11-4-HT-CF3 

池田屋正品 FITOK飞托克 原子层沉积隔膜阀 ALD6LV-CS11-4-HT-CF3 

FITOK（飞托克）推出的 ALD 系列原子层沉积隔膜阀，型号 ALD6LV-CS11-4-HT-CF3，是一款专为半导体原子层沉积（ALD）工艺设计的高温隔膜阀。该产品采用 316L VAR（真空重熔）不锈钢阀体，C 形密封端接方式，具备耐高温、高洁净度、长寿命等特性，适用于 ALD 前驱体输送、半导体制造及超高纯气体控制等严苛工况。

型号构成说明

ALD6LV-CS11-4-HT-CF3 型号中各部分含义如下：

• ALD：原子层沉积隔膜阀系列

• 6L：阀体材质为 316L 不锈钢（真空重熔）

• CS11：端口为 1.125 in. C 形密封

• 4：孔口规格

• HT：高温型密封

• CF3：FITOK FC-03 超高纯工艺清洁标准

ALD6LV-TB6-6-HJ-CF3、ALD6LV-CS11-4-HJ-CF3、ALD6LV-RFR4-4-CF3V、ALD6LV-RFR4-4-CF3、ALD6LV-CS15-4-HT-CF3、ALD6LV-CS11-4-HT-CF3、ALD6LV-CS15-4-CF3、ALD6LV-CS11-4-CF3、ALD6LV-FR4-4-HT-CF3、ALD6LV-FR4-4-CF3V

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