池田屋正品 FITOK飞托克 原子层沉积隔膜阀 ALD6LV-CS15-4-HT-CF3
FITOK（飞托克）推出的 ALD 系列原子层沉积隔膜阀，型号 ALD6LV-CS15-4-HT-CF3，是一款专为半导体原子层沉积（ALD）工艺设计的高温隔膜阀。

池田屋正品 FITOK飞托克 原子层沉积隔膜阀 ALD6LV-CS15-4-HT-CF3

池田屋正品 FITOK飞托克 原子层沉积隔膜阀 ALD6LV-CS15-4-HT-CF3

FITOK（飞托克）推出的 ALD 系列原子层沉积隔膜阀，型号 ALD6LV-CS15-4-HT-CF3，是一款专为半导体原子层沉积（ALD）工艺设计的高温隔膜阀。该产品采用 316L VAR（真空重熔）不锈钢阀体，C 形密封端接方式，具备耐高温、高洁净度、长寿命等特性，适用于 ALD 前驱体输送、半导体制造及超高纯气体控制等严苛工况。

型号构成说明

ALD6LV-CS15-4-HT-CF3 型号中各部分含义如下：

• ALD：原子层沉积隔膜阀系列

• 6L：阀体材质为 316L 不锈钢（真空重熔）

• CS15：端口为 1.5 in. C 形密封

• 4：孔口规格

• HT：高温型密封

• CF3：FITOK FC-03 超高纯工艺清洁标准

核心性能参数

该阀门最大工作压力为 10 bar（145 psig），工作温度范围为 0°C 至 200°C。流量系数 Cv 为 0.27，端口均为 1.5 in. C 形密封，配备常闭气动执行器。阀体材料为 316L 不锈钢真空重熔（VAR），具有高的纯净度，适用于对金属离子污染敏感的半导体工艺。每个阀门均经过氦泄漏测试，达到半导体行业要求的超低泄漏率。FITOK FC-03 超高纯工艺清洁标准确保了产品在半导体制造环境中的洁净度。1.5 in. C 形密封端接提供了较大通径的密封接口，适用于更高流量的 ALD 工艺需求。

ALD6LV-TB6-6-HJ-CF3、ALD6LV-CS11-4-HJ-CF3、ALD6LV-RFR4-4-CF3V、ALD6LV-RFR4-4-CF3、ALD6LV-CS15-4-HT-CF3、ALD6LV-CS11-4-HT-CF3、ALD6LV-CS15-4-CF3、ALD6LV-CS11-4-CF3、ALD6LV-FR4-4-HT-CF3、ALD6LV-FR4-4-CF3V

FITOK飞托克产品购买可以找-池田屋涂工-176O75549O8，确认产品型号后可向其咨询更多产品信息。

AITEC艾泰克/EYE岩崎/SEN日森/ REVOX莱宝克斯 / CCS晰写速/TOPCON拓普康/ NEWKON新光/ SANKO三高/ NPM日脉/ITO伊藤制作所/ EYELA东京理化/ NS日本精密科学/SONIC索尼克/ PISCO匹士克 /SERIC索莱克/YUASA尤阿萨/SAKURAI樱井/DRY-CABI东利繁

优势品牌：TOKI东机产业/ONOSOKKI小野/METROL美德龙/ACCRETECH東京精密/MITUTOYO三丰/URYU瓜生/IMV艾目微/ijima饭岛电子/HEIDON新东/HODAKA穗高/YOKOGAWA横河/HIOKI日置/FUNATECH船越龙/HIKARIYA光屋/POLARION普拉瑞/日本S-VANS/KOSAKA小坂/SHINYEI神荣/TSUBOSAKA壶坂/LUCEO鲁机欧