池田屋！KOFLOC 质量流量控制器 ST-500 PI
ST-500 是日本 KOFLOC（科赋乐）株式会社推出的一款 PI（Pressure Insensitive，压力不敏感）质量流量控制器。

池田屋！KOFLOC 质量流量控制器 ST-500 PI 

• 池田屋！KOFLOC 质量流量控制器 ST-500 PI 

• ST-500 是日本 KOFLOC（科赋乐）株式会社推出的一款 PI（Pressure Insensitive，压力不敏感）质量流量控制器。该产品通过在流量传感器前端搭载压力传感器，实时捕捉压力变动并修正阀门开度，实现不受供气压力波动影响的稳定流量控制，适用于半导体制造设备等对稳定性和准确性有要求的气体供给工艺。

• 产品特点与设计

• ST-500 具备以下特点：

• PI 功能（压力不敏感）：搭载压力传感器，实时捕捉压力变动及变动前的变化，修正阀门开度，实现针对压力变化的稳定流量控制

• 全金属密封结构：隔膜式全金属密封，经过 EP 处理及氧化覆膜处理，可对应腐蚀性流体

• 高精度测量：使用 S.P.（设定点）精度，实现高精度计量

• 快速响应：全流量控制范围响应性 1 秒以内

• 通信接口：支持 DeviceNet、EtherCAT 通信

• 接头：W 型密封圈接头

• 流量规格与精度

• ST-500 的流量量程为 100SCCM 至 10SLM（N₂ 换算），另有 30SLM 规格可供选择。控制范围为满量程的 2% 至 100%。精度为 ±1% S.P.（10–100% F.S.），±0.1% F.S.（2–10% F.S.），重现性为 ±0.2% F.S.。响应速度在 1 秒以内。PI 功能规格为流量 SV 5–100% F.S. 范围内对 ±3% PSI 的供给压力变动，过冲量 ±2% F.S.。

• 工作压差与耐压

• 动作压差：100SCCM 至 10SLM 规格为 50–300kPa；30SLM 规格为 200–300kPa

• 入口最大压力：300kPa(G)

• 耐压：1MPa(G)

• 外部泄漏率：1×10⁻¹¹ Pa·m³/sec 以下

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等