池田屋！KOFLOC 附带显示器的质量流量计 8700MM
8700MM 是日本 KOFLOC（科赋乐）株式会社 8700 系列中的一款附带显示器的大流量质量流量计（Mass Flow Meter, MFM）

池田屋！KOFLOC 附带显示器的质量流量计 8700MM 

池田屋！KOFLOC 附带显示器的质量流量计 8700MM 

8700MM 是日本 KOFLOC（科赋乐）株式会社 8700 系列中的一款附带显示器的大流量质量流量计（Mass Flow Meter, MFM）。该产品与 8700MC 质量流量控制器同属 8700 系列，区别在于 8700MM 为测量型（无阀门控制功能），仅用于气体流量的测量与显示。产品集成了显示单元，支持瞬时/累计流量显示及报警设定，标配 RS485 通信功能，模拟输入输出 0-5VDC（可变更 4-20mA），适用于半导体制造、CVD 工艺、真空镀膜、分析仪器及燃料电池等场景中的气体流量精确测量与监测。

产品特点与设计

8700MM 具备以下特点：

• 大流量范围覆盖：以 N₂ 换算，流量范围从 F.S. 10SCCM 至 20SLM（8700 系列）

• 内置显示器：可灵活使用各种功能，包括瞬时/累计流量显示、报警设定

• 标配 RS485 通信：支持 Modbus-RTU 协议，便于与上位系统集成

• 模拟输入输出：标配 0-5VDC（可变更 4-20mA）

• 低功耗：24VDC 供电，消耗电流仅 300mA

流量规格与精度

8700MM 的满量程流量范围为 10SCCM 至 20SLM（N₂ 换算）。在 25°C 条件下，测量精度为 ±1.0% F.S.，重现性为 ±0.5% F.S.，响应速度在 2 秒以内（达 ±2% F.S.）。温度系数为 ±0.1% F.S./℃（15–35℃ 范围内）。

工作压差与耐压

• 入口最大压力：500kPa(G) 以下

• 耐压：1MPa(G)

• 外部泄漏率（氦气）：1×10⁻⁸ Pa·m³/sec 以下

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等