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池田屋!MIYUKI 气动排气阀 IP-F38
池田屋!MIYUKI 气动排气阀 IP-F38
IP-F38 是日本 MIYUKI(三幸)株式会社 IV/IP 系列中的一款气动排气阀(气体引入阀)。该产品用于将真空容器恢复至大气压,通过气动控制实现真空系统的破空操作,适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的气体导入与破空控制场景。
结构与特点
IP-F38 采用 常闭型(Normally Closed) 阀门设计,无供气时阀门保持关闭状态,供气时阀门开启。操作方式为 气动弹簧复位机构,通过压缩空气控制阀门的开闭。该阀门结构简单,响应迅速,适用于需要安全可靠的破空或气体导入的真空系统。
口径与连接方式
该型号的口径为 Φ4 mm,连接方式为 Φ38 接口,适用于 38mm 口径的真空管路或接口连接。
使用压力与泄漏量
适用压力范围为 10⁵ Pa 至 10⁻⁵ Pa,可覆盖从大气压到高真空的较宽压力范围。泄漏量为 1×10⁻⁸ Pa·m³/s 以下,可满足一般真空系统对泄漏量的要求。
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