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池田屋!MIYUKI 气动L型阀 AB-N16
池田屋!MIYUKI 气动L型阀 AB-N16
AB-N16 是日本 MIYUKI(三幸)株式会社 AB 系列中的一款气动驱动 L 型阀。该系列采用 L 型流路设计,可根据用途选择波纹管密封或 O 型圈密封方式,全部规格均设计为可承受反向压力,适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的气体切换与隔离控制场景。
结构与特点
AB-N16 采用 L 型流路结构,可实现真空管路的方向切换或分支控制。轴密封方式为 波纹管密封(金属密封),具有优良的真空密封性能和较长的使用寿命,泄漏量可达 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下。阀体材质为 SUS304 不锈钢,阀板密封件采用 氟橡胶 O 型圈,轴密封采用 SUS316L 焊接波纹管。该阀门设计为可承受反向压力,适用于需要双向压力差的工艺场景。
口径与法兰规格
该型号的公称口径为 16A(16mm),法兰规格为 KF/NW 法兰(ISO 2861)。采用 NW/KF 快速法兰连接方式,适用于真空管路的快速安装与拆卸。
驱动方式与气缸
采用 气动驱动,工作空气压力范围为 0.4 至 0.6 MPaG。16A 至 50A 口径的气缸支持 单作用/双作用两用,可根据控制需求选择。用作单作用阀时使用三通电磁阀,用作双作用阀时使用四通或五通电磁阀。
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
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