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池田屋!MIYUKI 气动闸阀 GH-C160
池田屋!MIYUKI 气动闸阀 GH-C160
GH-C160 是日本 MIYUKI(美幸辉)株式会社 GH 系列中的一款气动驱动闸阀。该系列在标准闸阀的全开和全闭功能基础上,增加了中间开度调节功能,可实现一台阀门完成主排气和流量调节的双重功能,适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的气体流量控制与开关隔离场景。
结构与特点
GH-C160 采用 闸阀结构,在 G 系列基础上增加了 中间停止用辅助气缸,可在全开至开口面积约 45% 的范围内任意设定中间停止位置。通过辅助气缸活塞的行程调节,可实现阀门开度的两级控制。气缸设计在关闭时具备推力倍增功能以确保可靠密封,并在行程末端设有气垫缓冲效果以减轻冲击。阀板密封机构采用等间距滚珠压紧方式,在反向压力下具有优良的密封可靠性。阀体采用不锈钢研磨板材经真空钎焊工艺制造,内面无死空间,可有效降低气体释放。产品在洁净室内完成组装和检测。
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