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池田屋 神津KOHZU 自动XY平台 XA16F-L2101
池田屋 神津KOHZU 自动XY平台 XA16F-L2101
XA16F-L2101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高刚性自动X轴平台,主体采用钢材(工作台面为铝合金),进给机构采用滚珠丝杠(导程5.0mm),实现高刚性和精确定位。该平台适用于各种测量仪器、精密定位设备及同步辐射实验等需要高精度X轴直线运动的场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | XA16F-L2101 |
| 反向型号 | XA16F-L2101-R |
| 工作台面 | 160mm × 160mm |
| 导轨方式 | 精密直线导轨 |
| 移动范围 | ±50mm(总行程100mm) |
| 进给方式 | 滚珠丝杠,导程5.0mm |
| 分辨率(整步/半步) | 10μm / 5μm |
| 分辨率(微步进1/20格) | 0.5μm |
| 最高速度 | 50mm/s(使用AC100V输入电源驱动器时) |
| 累计定位误差 | ≤15μm/100mm(平均值2.71μm/60mm) |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm(平均值±0.06μm) |
| 背隙 | ≤5μm(平均值2.82μm) |
| 水平直线度 | ≤4μm/100mm(平均值1.03μm/100mm) |
| 垂直直线度 | ≤2μm/100mm(平均值0.78μm/100mm) |
| 回差 | ≤2μm(平均值0.22μm) |
| 弯曲刚度 | 0.02 arcsec/N·cm(平均值0.001 arcsec/N·cm) |
| 水平承载能力 | 392N(40kgf) |
| 主体材质 | 钢材(工作台面:铝合金) |
| 外观 | 黑色表面低温电镀处理 |
| 重量 | 11.5kg |
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 光电传感器基板 | F-104(限位),F-105(原点) |
| 电机轴直径 | Φ8mm,可选手柄:B型 |
| 电机类型 | 5相步进电机(东方马达 C087Q-9215P) |
| 额定电流 | 0.75A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 圆形20针(广濑:RP13A-12RA-20PC) |
| 选项 | 型号后缀 | 说明 | 费用(日元) |
|---|---|---|---|
| 2相步进电机 | -BM | 电机更换为东方马达PK264JDB,连接器变更为方形20针 | ¥40,000 |
| 洁净润滑脂 | -C | 适用于洁净室环境 | ¥48,000 |
| 真空润滑脂 | -V | 适用于真空环境 | ¥48,000 |
| 项目 | 费用(日元) |
|---|---|
| 大修 | ¥60,000起 |
| 同形电机更换 | ¥15,000起 |
| 异形电机更换 | ¥40,000起 |
一、高刚性设计
主体采用钢材,进给机构采用滚珠丝杠
实现高刚性和精确定位
弯曲刚度0.02 arcsec/N·cm
二、高精度定位
重复定位精度≤±0.5μm
微步进分辨率0.5μm
累计定位误差≤15μm/100mm
三、原点复归方式
采用基准传感器(区域传感器)实现原点复归
CW侧(顺时针侧)始终遮光
控制器设置值需更改为"2"(默认值4)
四、应用实绩
该平台已在上海同步辐射光源(SSRF)BL13HB光束线的实验装置中投入使用,用于扩散器(砂纸)的X方向扫描定位,证实了其在大型科学装置中的应用可靠性。
控制器:KOSMOS系列(需更改初始设置)
电缆:需使用5芯电机电缆
控制器设置:需将SYS No.2设置为"2"(区域传感器原点复归方式)
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 同步辐射实验 | X方向精密扫描定位 |
| 精密测量仪器 | 高精度位移测量 |
| 光学设备组装 | 透镜、棱镜等光学元件的精密定位 |
| 半导体设备 | 晶圆检测、定位等工序 |
| 液晶制造 | 液晶面板生产和检测设备 |
神津精机XA16F-L2101自动X轴平台通过钢材主体与滚珠丝杠的高刚性组合(重复定位精度±0.5μm、微步进分辨率0.5μm)、长行程(±50mm)及高承载能力(392N),为同步辐射实验、精密测量仪器、光学设备组装等需要高精度X轴直线运动的应用场景提供了理想的解决方案。该平台已在上海同步辐射光源等大型科学装置中得到实际应用验证。