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池田屋 神津KOHZU 自动XY平台
  • 产品型号:XA16F-L2101
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-07-07
  • 访  问  量:4
简要描述:

池田屋 神津KOHZU 自动XY平台 XA16F-L2101
XA16F-L2101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高刚性自动X轴平台,主体采用钢材(工作台面为铝合金),进给机构采用滚珠丝杠(导程5.0mm),实现高刚性和精确定位。

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产品详情

池田屋 神津KOHZU 自动XY平台 XA16F-L2101

池田屋 神津KOHZU 自动XY平台 XA16F-L2101

产品概述:

XA16F-L2101是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高刚性自动X轴平台,主体采用钢材(工作台面为铝合金),进给机构采用滚珠丝杠(导程5.0mm),实现高刚性和精确定位。该平台适用于各种测量仪器、精密定位设备及同步辐射实验等需要高精度X轴直线运动的场景。

核心规格参数:

项目规格
型号XA16F-L2101
反向型号XA16F-L2101-R
工作台面160mm × 160mm
导轨方式精密直线导轨
移动范围±50mm(总行程100mm)
进给方式滚珠丝杠,导程5.0mm
分辨率(整步/半步)10μm / 5μm
分辨率(微步进1/20格)0.5μm
最高速度50mm/s(使用AC100V输入电源驱动器时)
累计定位误差≤15μm/100mm(平均值2.71μm/60mm)
重复定位精度≤±0.5μm(平均值±0.06μm)
背隙≤5μm(平均值2.82μm)
水平直线度≤4μm/100mm(平均值1.03μm/100mm)
垂直直线度≤2μm/100mm(平均值0.78μm/100mm)
回差≤2μm(平均值0.22μm)
弯曲刚度0.02 arcsec/N·cm(平均值0.001 arcsec/N·cm)
水平承载能力392N(40kgf)
主体材质钢材(工作台面:铝合金)
外观黑色表面低温电镀处理
重量11.5kg

电气规格:

项目规格
光电传感器基板F-104(限位),F-105(原点)
电机轴直径Φ8mm,可选手柄:B型
电机类型5相步进电机(东方马达 C087Q-9215P)
额定电流0.75A/相
基本步距角0.72°
连接器圆形20针(广濑:RP13A-12RA-20PC)

选配规格:

选项型号后缀说明费用(日元)
2相步进电机-BM电机更换为东方马达PK264JDB,连接器变更为方形20针¥40,000
洁净润滑脂-C适用于洁净室环境¥48,000
真空润滑脂-V适用于真空环境¥48,000

维修与更换费用参考:

项目费用(日元)
大修¥60,000起
同形电机更换¥15,000起
异形电机更换¥40,000起

核心设计特征:

一、高刚性设计

  • 主体采用钢材,进给机构采用滚珠丝杠

  • 实现高刚性和精确定位

  • 弯曲刚度0.02 arcsec/N·cm

二、高精度定位

  • 重复定位精度≤±0.5μm

  • 微步进分辨率0.5μm

  • 累计定位误差≤15μm/100mm

三、原点复归方式

  • 采用基准传感器(区域传感器)实现原点复归

  • CW侧(顺时针侧)始终遮光

  • 控制器设置值需更改为"2"(默认值4)

四、应用实绩

该平台已在上海同步辐射光源(SSRF)BL13HB光束线的实验装置中投入使用,用于扩散器(砂纸)的X方向扫描定位,证实了其在大型科学装置中的应用可靠性。

兼容控制器与电缆:

  • 控制器:KOSMOS系列(需更改初始设置)

  • 电缆:需使用5芯电机电缆

  • 控制器设置:需将SYS No.2设置为"2"(区域传感器原点复归方式)

典型应用场景:

应用领域说明
同步辐射实验X方向精密扫描定位
精密测量仪器高精度位移测量
光学设备组装透镜、棱镜等光学元件的精密定位
半导体设备晶圆检测、定位等工序
液晶制造液晶面板生产和检测设备

综合价值:

神津精机XA16F-L2101自动X轴平台通过钢材主体与滚珠丝杠的高刚性组合(重复定位精度±0.5μm、微步进分辨率0.5μm)、长行程(±50mm)及高承载能力(392N),为同步辐射实验、精密测量仪器、光学设备组装等需要高精度X轴直线运动的应用场景提供了理想的解决方案。该平台已在上海同步辐射光源等大型科学装置中得到实际应用验证。


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