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Densoku X射线荧光膜厚计 COSMOS-3X
Densoku X射线荧光膜厚计 COSMOS-3X
电测株式会社(Densoku Co., Ltd.)推出的 COSMOS-3X X射线荧光膜厚计,是一款适用于原子序数22(Ti)及以上金属膜厚测量的高精度分析仪器。型号 COSMOS-3X 可同时测量双层及三层镀层膜厚,以及合金镀层的膜厚与成分比。产品标配数值滤波器与两种机械滤波器,可对铜上镍镀层、锌上铜镀层等相邻原子序数组合进行高精度测量。其紧凑型设计(质量48kg)与Windows控制软件ExWin,适用于电子元件、PCB及汽车零部件等行业的镀层品质管理。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | COSMOS-3X |
| 测量元素范围 | 原子序数 22(Ti)~ 82(Pb) |
| 测量平台尺寸 | 170 × 110 mm |
| 平台移动量(X/Y/Z) | X:70 mm / Y:70 mm / Z:80 mm |
| 最大被测物体高度 | 80 mm |
| 主机外形尺寸 | 402(W)× 430(D)× 580(H)mm |
| 主机重量 | 48 kg |
| 样品承载量 | 3 kg |
| 准直器 | 5种(0.1、0.2、0.5、1.0、2.0 mmΦ),自动切换 |
| 可选准直器 | 0.05 mmΦ / 0.05 × 0.5 mm 狭缝型等 |
| 探测器 | 比例计数器 |
| X射线源 | 油浸式微型细焦X射线管(靶:钨,管电压50kV) |
| 滤波器 | 2种机械滤波器(Co、Ni)+ 数值滤波器 |
| 电源 | AC100V ±10V |
| 显示器 | 15英寸彩色显示器 |
| 控制软件 | ExWin(Windows PC控制) |
1. 双重滤波系统,提升相邻元素测量精度
配备数值滤波器与两种机械滤波器(Co、Ni),即使对于原子序数相邻的基材与镀层组合(如Cu上Ni、Zn上Cu),也能实现高精度测量,有效降低元素间干扰。
2. 内置五种准直器,自动切换
标配0.1、0.2、0.5、1.0、2.0 mmΦ五种准直器,可自动切换以适应不同测量区域。可选配0.05 mmΦ超细准直器及0.05×0.5 mm狭缝型准直器,满足微小区域测量需求。
3. 铍窗X射线管(可选)
可选配铍窗X射线管,配合0.05 mm小型准直器可实现高精度测量,并可用于钛(Ti)、铬(Cr)等轻元素的膜厚分析。
4. 控制软件ExWin,操作简便
通过Windows PC上的ExWin控制软件完成操作,数据可轻松导入电子表格软件及其他应用程序,便于数据管理与分析。
5. 统计处理功能
可显示和打印各种统计数据与图表,包括平均值、标准差、最大值、最小值、范围、Cp、Cpk、直方图、轮廓图及XR控制图等,满足品质管理需求。
6. 自诊断功能
具备自诊断功能,可快速排查设备故障。同时可显示X射线管的运行时间和剩余寿命,便于维护计划安排。
7. 可测量范围
| 原子序数范围 | 可测量膜厚范围 |
|---|---|
| 22 ~ 24(Ti、V、Cr) | 0.02 ~ 约20 μm |
| 25 ~ 40(Mn~Zr) | 0.01 ~ 约30 μm |
| 41 ~ 51(Nb~Sb) | 0.02 ~ 约70 μm |
| 52 ~ 82(Te~Pb) | 0.05 ~ 约10 μm |
| 应用类别 | 说明 |
|---|---|
| 单层镀层测量 | 单一金属镀层厚度测量 |
| 双层/三层镀层测量 | 多层镀层同时测量 |
| 合金镀层测量 | 合金膜厚度与成分比同步测量 |
| 化学镀镍测量 | 无电解镀镍膜厚测量 |
统计信息:平均值、标准差、最大值、最小值、范围、Cp、Cpk
直方图显示
轮廓数据显示
XR控制图
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| PCB/电子基板 | 镀金、镀铜、镀镍膜厚测量 |
| 连接器/端子 | 镀锡、镀银、镀钯膜厚测量 |
| 半导体封装 | 凸点下金属化层(UBM)测量 |
| 汽车零部件 | 镀锌、镀铬膜厚管理 |
| 装饰镀层 | 镀金、镀铑等装饰性镀层测量 |
确认测量元素种类与膜厚范围
确认最大样品尺寸(170×110mm)与高度(80mm)
确认所需准直器最小直径(标准0.1mm,可选0.05mm)
确认是否需要铍窗X射线管(用于轻元素测量)
确认使用电源为AC100V
电测 COSMOS-3X X射线荧光膜厚计通过双重滤波系统、五种自动切换准直器及Windows控制软件ExWin,为PCB、电子元件及汽车零部件等行业提供了一种紧凑型、高精度的膜厚测量方案。其48kg的轻量设计、自诊断功能及统计处理能力,适用于单层至三层镀层及合金镀层的膜厚与成分分析。