NPM/日脉 精密载物台 SPS100TD-050
该产品为SPS Nano定位系列高精度直线轴电机平台，行程50mm，采用无芯直线轴电机驱动，结合交叉滚子导轨导向，兼具伺服平台的速度与压电平台的精度，适用于需要超高精度定位与速度稳定性的应用。

NPM/日脉  精密载物台 SPS100TD-050

NPM/日脉  精密载物台 SPS100TD-050

池田屋推出马布奇电机 NPM（Mabuchi Motor NPM）品牌SPS100TD-050精密载物台。该产品为SPS Nano定位系列高精度直线轴电机平台，行程50mm，采用无芯直线轴电机驱动，结合交叉滚子导轨导向，兼具伺服平台的速度与压电平台的精度，适用于需要超高精度定位与速度稳定性的应用。

一、产品概述

二、性能规格

三、编码器规格

四、物理规格

五、核心特点

超高精度定位：重复定位精度≤±0.3μm（使用0.1μm分辨率编码器时），兼具伺服平台的速度与压电平台的精度。

无齿槽效应：采用无芯直线轴电机作为驱动源，无齿槽效应，实现高的速度稳定性和定位精度。

交叉滚轮导轨导向：采用交叉滚轮导轨作为导向系统，移动轴系统增强连续运行的稳定性、可靠性和耐久性。

低噪音无粉尘：轴电机无摩擦，运行过程中不产生噪音和粉尘，无需电机维护。

紧凑超薄设计：载物台尺寸140×107×26mm，厚度仅26mm，适用于空间受限的精密设备。

高分辨率编码器可选：编码器分辨率可低至0.0025μm（增量式）或0.005μm（绝对式）。

六、典型应用场景

七、使用注意事项

• 有效载荷能力300N（约30kgf），受运行条件限制

• 重复定位精度≤±0.3μm为使用0.1μm分辨率编码器时的参考数据

• 直线度误差为每25mm行程的最大误差

• 增量式编码器配备原点传感器（原点中心附近，±限位）

• 绝对式编码器不支持原点传感器

• 未列出的行程和规格可咨询定制

池田屋表示，马布奇电机NPMSPS100TD-050精密载物台凭借超高精度定位（≤±0.3μm）、无齿槽无摩擦设计及紧凑尺寸，可满足半导体、光学及精密测量等领域的高精度定位需求。