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Orientalmotor αSTEP 真空型步进电机
  • 产品型号:AR46AC-真空型
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-24
  • 访  问  量:11
简要描述:

Orientalmotor αSTEP 真空型步进电机 AR46AC-真空型
该产品为交流输入型步进电机,安装角尺寸42mm,基本步距角0.36°,适用于10⁻⁵Pa真空环境,采用铝和不锈钢无涂漆外壳、真空润滑脂轴承及耐热绕组,适用于半导体制造设备、电子显微镜、真空薄膜沉积等真空环境下的精密定位应用。

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产品详情

Orientalmotor  αSTEP 真空型步进电机 AR46AC-真空型

Orientalmotor  αSTEP 真空型步进电机 AR46AC-真空型

池田屋推出东方马达(Oriental Motor)品牌αSTEP AR系列真空型步进电机——AR46AC-真空型。该产品为交流输入型步进电机,安装角尺寸42mm,基本步距角0.36°,适用于10⁻⁵Pa真空环境,采用铝和不锈钢无涂漆外壳、真空润滑脂轴承及耐热绕组,适用于半导体制造设备、电子显微镜、真空薄膜沉积等真空环境下的精密定位应用。

一、产品概述

项目规格
产品名称αSTEP AR系列真空型步进电机
型号AR46AC-真空型
品牌东方马达(Oriental Motor)
安装角尺寸42mm
基本步距角0.36°
适用真空度10⁻⁵Pa
电源输入交流输入
质量约0.47kg
标价184,200日元起(含电机和驱动器)

二、真空适应设计

外壳材质:采用铝和不锈钢材质,表面无涂漆处理,最大限度减少气体排放,避免污染真空环境。

轴承润滑:使用真空润滑脂,适合真空环境下长期运行。

耐热绕组:采用耐热绕组设计,能够承受烘烤过程中的高温。

气体排放特性:排放的气体成分与正常清洁环境相同,无需担心污染真空环境。

三、技术特点

转子位置检测:配备转子位置检测传感器(旋转变压器),无需编码器即可进行位置监测,降低系统成本。

闭环控制:αSTEP AR系列通过闭环控制监测电机信息,具备多种报警输出功能。

CC模式温度控制:恒流模式可根据负载转矩大小调节电机电流,保持较低温度,维持真空压力稳定。

四、性能特点

特点说明
真空适应适用于10⁻⁵Pa高真空环境
低放气设计无涂漆外壳+真空润滑脂
高精度0.36°基本步距角
耐高温耐热绕组可承受烘烤高温
无需编码器旋转变压器实现位置检测

五、典型应用场景

应用领域具体用途
半导体制造真空环境下的晶圆搬运、定位
电子显微镜样品台精密定位
真空薄膜沉积基板定位与旋转驱动
低真空材料分析分析设备样品定位
高功率激光加工真空环境下的精密定位

六、使用注意事项

  • 适用真空度为10⁻⁵Pa,使用前确认真空室条件

  • 电机表面无涂漆,安装时注意防锈处理

  • 使用真空润滑脂轴承,无需额外润滑

  • 需配合专用驱动器使用

  • 建议在洁净环境中安装,避免污染

池田屋表示,东方马达AR46AC-真空型步进电机凭借42mm安装角、10⁻⁵Pa真空适应性及旋转变压器位置检测,可满足半导体制造、电子显微镜等真空环境下的精密定位需求。


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