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Orientalmotor αSTEP 真空型步进电机 AR46AC-真空型
Orientalmotor αSTEP 真空型步进电机 AR46AC-真空型
池田屋推出东方马达(Oriental Motor)品牌αSTEP AR系列真空型步进电机——AR46AC-真空型。该产品为交流输入型步进电机,安装角尺寸42mm,基本步距角0.36°,适用于10⁻⁵Pa真空环境,采用铝和不锈钢无涂漆外壳、真空润滑脂轴承及耐热绕组,适用于半导体制造设备、电子显微镜、真空薄膜沉积等真空环境下的精密定位应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | αSTEP AR系列真空型步进电机 |
| 型号 | AR46AC-真空型 |
| 品牌 | 东方马达(Oriental Motor) |
| 安装角尺寸 | 42mm |
| 基本步距角 | 0.36° |
| 适用真空度 | 10⁻⁵Pa |
| 电源输入 | 交流输入 |
| 质量 | 约0.47kg |
| 标价 | 184,200日元起(含电机和驱动器) |
二、真空适应设计
外壳材质:采用铝和不锈钢材质,表面无涂漆处理,最大限度减少气体排放,避免污染真空环境。
轴承润滑:使用真空润滑脂,适合真空环境下长期运行。
耐热绕组:采用耐热绕组设计,能够承受烘烤过程中的高温。
气体排放特性:排放的气体成分与正常清洁环境相同,无需担心污染真空环境。
三、技术特点
转子位置检测:配备转子位置检测传感器(旋转变压器),无需编码器即可进行位置监测,降低系统成本。
闭环控制:αSTEP AR系列通过闭环控制监测电机信息,具备多种报警输出功能。
CC模式温度控制:恒流模式可根据负载转矩大小调节电机电流,保持较低温度,维持真空压力稳定。
四、性能特点
| 特点 | 说明 |
|---|---|
| 真空适应 | 适用于10⁻⁵Pa高真空环境 |
| 低放气设计 | 无涂漆外壳+真空润滑脂 |
| 高精度 | 0.36°基本步距角 |
| 耐高温 | 耐热绕组可承受烘烤高温 |
| 无需编码器 | 旋转变压器实现位置检测 |
五、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 半导体制造 | 真空环境下的晶圆搬运、定位 |
| 电子显微镜 | 样品台精密定位 |
| 真空薄膜沉积 | 基板定位与旋转驱动 |
| 低真空材料分析 | 分析设备样品定位 |
| 高功率激光加工 | 真空环境下的精密定位 |
六、使用注意事项
适用真空度为10⁻⁵Pa,使用前确认真空室条件
电机表面无涂漆,安装时注意防锈处理
使用真空润滑脂轴承,无需额外润滑
需配合专用驱动器使用
建议在洁净环境中安装,避免污染
池田屋表示,东方马达AR46AC-真空型步进电机凭借42mm安装角、10⁻⁵Pa真空适应性及旋转变压器位置检测,可满足半导体制造、电子显微镜等真空环境下的精密定位需求。