ULVAC爱发科作为真空技术企业，其核心产品覆盖真空设备及配套系统

ULVAC爱发科作为真空技术企业，其核心产品覆盖真空设备及配套系统，以下是主要产品线及其技术特点：

一、真空泵类产品

1. ‌油旋片真空泵 PVD-360‌

• ‌技术特性‌：采用双级设计，极限真空度达2×10⁻² Pa，配备智能调速电机节能30%；模块化结构缩短40%维护时间，转子表面DLC涂层延长使用寿命至40,000小时46。

• ‌应用领域‌：适用于制冷行业（空调抽真空）、食品真空包装、电子元器件生产及化工真空浸渍4。

2. ‌高真空低温泵 CRYO-U6H‌

• ‌核心性能‌：双段式GM制冷技术实现1×10⁻7 Pa极限真空，氢气排气速度500 L/s，支持多泵联动（单压缩机驱动4台泵）7。

• ‌优势‌：氩气处理容量提升2倍，再生周期优化，适用于半导体溅射和光学镀膜等洁净工艺7。

3. ‌油回转真空泵配件‌

• ‌油雾过滤器 OMT-200A‌：自动回收油烟至泵内，适配GLD系列泵型，降低油消耗和维护频率2。

二、半导体制造设备

• ‌uGmni-200E刻蚀设备‌：模块化平台支持多工艺腔体切换，通用部件设计减少备件需求，提升电子产品制造效率5。

• ‌GaN射频器件解决方案‌：涵盖溅射、刻蚀、蒸镀等全流程，核心技术包括低损伤刻蚀及大规模生产支持能力5。

• ‌一次性蒸镀卷绕设备‌：实现双面1μm镀膜的高速量产，方阻降低显著，适用于锂电池制造5。

三、成膜与测量设备

1. ‌成膜设备‌

• 成膜电源与椭偏仪：支撑薄膜沉积工艺中的电源供应与膜层分析1。

2. ‌真空测量仪器‌

• ‌M-11测定子‌：电离真空计配件，测量范围1.30×10⁻⁶~2.3×10⁻² Pa，快速响应高真空环境变化，适配GI系列真空计3。

四、其他核心组件

• ‌真空机械手‌：用于晶圆真空搬运，兼容复杂生产线布局1。

• ‌真空阀与法兰‌：标准化部件支持真空系统快速搭建，覆盖医疗、生物技术等领域1。

ULVAC产品以真空技术为核心，通过智能化、模块化设计适配半导体、新能源、科研等多领域需求，持续推动高精度与节能技术创新15。