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ULVAC爱发科
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ULVAC爱发科作为真空技术企业,其核心产品覆盖真空设备及配套系统
ULVAC(爱发科)作为以真空技术为核心的综合企业集团,其产品和技术广泛应用于多个工业领域。以下是主要应用场景及对应产品: 半导体制造 提供超微细化技术设备,支持下一代半导体的高集成化与低成本制造需求; LR系列多级罗茨型干泵专门用于缩短半导体工艺中的排气时间,提升产能; 配套真空部件(如R-7真空泵油)保障设备稳定运行8。 平板显示(FPD)与光伏(PV)制造 开发溅射设备用