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更新时间：2026-05-21 
浏览次数：9在半导体制造、液晶面板生产、光伏产业以及化学工业等领域，真空环境的获得与维持是生产过程中的关键环节。传统油封旋片泵虽应用广泛，但其油蒸气返流、油雾排放以及定期换油维护等问题，在对洁净度要求的现代制造中日益凸显。KASHIYAMA（樫山工业）作为日本的真空设备制造商，凭借其在干式真空泵领域数十年的技术积累，推出了NeoDry36EU干式真空泵。该产品采用无油的设计理念，结合先进的螺杆技术，实现了高真空、大抽速、无污染、低能耗的性能，成为众多精密制造行业的理想选择。
一、产品介绍
NeoDry36EU是KASHIYAMA NeoDry系列中的一款高性能干式真空泵。NeoDry系列的名称本身就体现了其核心特征——“Neo"（新）与“Dry"（干式），代表着新一代干式真空技术。NeoDry36EU专为需要洁净真空环境的中等规模应用而设计，抽速适中，适用于从实验室研发到批量生产的多种场景。
该泵的核心技术是干式螺杆原理。与传统油封泵不同，NeoDry36EU的泵腔内部不使用任何油或水作为密封和润滑介质。它采用一对经过精密加工的螺杆转子，在泵腔内以相反方向高速旋转。转子与转子之间、转子与泵腔之间保持微米级的间隙而不直接接触，依靠这种非接触式的精密配合实现气体的吸入、压缩和排出。由于没有摩擦接触，泵腔内无需润滑油，因此被抽气体在流经泵腔的过程中不会接触任何碳氢化合物，从源头上杜绝了油蒸气的产生。
从外观结构来看，NeoDry36EU体现了工业设备应有的扎实与紧凑。它采用一体化铸造成型的泵体，结构刚性好，热稳定性佳。电机与泵体直连设计，取消了联轴器，提高了传动效率并减少了维护点。整机体积小巧，占地面积小，方便集成到各种设备中。泵体表面经过特殊涂层处理，具有良好的耐腐蚀性，能够应对半导体和化学工业中常见的腐蚀性气体。进气口和排气口均采用标准法兰接口，方便与真空管路连接。此外，NeoDry36EU还配备了集成式的排气消音器和气镇阀，消音器有效降低了排气噪音，气镇阀则允许在抽除少量可凝性蒸气（如水蒸气）时引入干燥气体，防止蒸气在泵腔内凝结。
NeoDry36EU的另一大技术亮点是其智能化的控制系统。内置的变频驱动技术使得泵的转速可以根据实际真空需求自动调节。在需要大抽速的粗抽阶段，泵全速运转，快速将腔体从大气压抽至预定真空度；当接近目标真空度或进入保压阶段时，泵自动降低转速，以维持真空并大幅降低能耗和噪音。这种按需运行的模式不仅节能环保，还减少了泵的机械磨损，延长了使用寿命。同时，泵内置了温度传感器和压力传感器，实时监控运行状态，当出现过热、过载或异常压力时自动报警或停机保护。
在冷却方式上，NeoDry36EU采用风冷设计。泵体集成了高效散热片和冷却风扇，利用环境空气进行冷却，无需外接冷却水。这大大简化了安装要求，用户只需接入电源和排气管路即可投入使用，特别适合现场没有循环冷却水条件的场合。对于在高温环境或处理工艺气体较热的应用，也可选配水冷版本以获得更佳的热稳定性。
二、技术参数
| 参数项目 | 技术规格 |
|---|---|
| 产品型号 | NeoDry36EU |
| 品牌 | KASHIYAMA（樫山工业） |
| 泵类型 | 干式螺杆真空泵（无油） |
| 抽速（50/60Hz） | 36 / 43 m³/h（约600 / 720 L/min） |
| 极限压力（关闭气镇） | ≤ 0.5 Pa（绝对压力） |
| 极限压力（开启气镇） | ≤ 5 Pa（绝对压力） |
| 最大排气压力 | 大气压（直排） |
| 进气口口径 | KF25 / KF40（ISO标准） |
| 排气口口径 | KF25 |
| 电机功率 | 约 1.5 kW |
| 供电电压 | 三相 AC 200 ~ 240V，50/60Hz（EU型号适配欧洲标准） |
| 额定电流 | 约 6.5 A（依电压而定） |
| 转速（变频控制） | 1800 ~ 3600 rpm（可调） |
| 启动方式 | 变频软启动 |
| 冷却方式 | 强制风冷（标准）；可选水冷 |
| 冷却风量 | 约 200 m³/h |
| 冷却水流量（水冷型） | 约 3 ~ 5 L/min |
| 冷却水温度（水冷型） | 5℃ ~ 30℃ |
| 气镇接口 | 预留（可接入干燥氮气或空气） |
| 气镇流量（推荐） | 10 ~ 30 L/min |
| 噪音水平（1米处） | ≤ 65 dB(A)（全速运行时） |
| 工作环境温度 | 5℃ ~ 40℃ |
| 工作环境湿度 | 20% ~ 80% RH（无结露） |
| 适用气体 | 空气、惰性气体、半导体工艺气体（需确认兼容性） |
| 最大允许含水率 | 无结露（可开启气镇处理少量蒸气） |
| 最大允许颗粒物 | 需在进气口加装过滤器（建议 ≤ 5μm） |
| 防护等级 | IP54 |
| 防爆等级 | 不适用（非防爆设计） |
| 外形尺寸（宽×深×高） | 约 350 × 500 × 350 mm |
| 重量 | 约 60 kg |
| 维护周期 | 约 20000 小时（轴承更换） |
| 日常维护 | 无需换油，仅需清洁进气过滤器 |
| 接口标准 | 符合ISO/KF法兰标准 |
| 符合指令 | CE认证 |
| 可选配件 | 进气过滤器、消音器、排气冷凝器、水冷套件 |
| 适用行业 | 半导体、FPD、光伏、真空镀膜、真空干燥、检漏设备 |
三、用途与典型应用场景
1. 半导体制造
这是NeoDry36EU最为核心的应用领域。在半导体制程中，真空环境贯穿于多个关键工艺。在刻蚀工艺中，反应腔需要在低压下通入刻蚀气体并产生等离子体，NeoDry36EU用于提供和维持刻蚀腔体所需的真空度，同时抽除反应副产物。由于刻蚀气体中常含有氯气、氟化物等腐蚀性成分，泵的耐腐蚀涂层和无油设计确保其能够长期稳定运行而不被腐蚀或污染。在化学气相沉积和物理气相沉积中，薄膜沉积过程需要在高真空环境下进行，NeoDry36EU作为前级泵与涡轮分子泵配合使用，提供必要的预备真空。其洁净特性避免了油蒸气对薄膜纯度和附着力的负面影响。在离子注入中，同样需要洁净真空来保证离子束的传输效率和质量。
2. 液晶面板与平板显示器制造
在TFT-LCD和OLED面板的生产过程中，真空系统用于多个成膜和刻蚀工序。NeoDry36EU可用于Array段的PECVD、溅射和刻蚀设备，以及Cell段的液晶滴注和封装设备。面板制造中使用的腔体体积大，需要大抽速的真空泵来缩短抽空时间，NeoDry36EU的抽速能够满足中等尺寸面板产线的需求。其干式设计避免了油污染对显示面板像素缺陷的影响。
3. 太阳能光伏产业
在晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产中，真空技术被用于PECVD镀减反射膜、PVD镀电极以及刻蚀边缘等工序。NeoDry36EU为这些工艺设备提供清洁、稳定的真空环境。在硅基薄膜电池生产中，真空系统需要长时间连续运行，NeoDry36EU的节能变频设计和高可靠性非常契合这一需求。
4. 真空镀膜与表面处理
在工具镀膜、装饰镀膜以及光学镀膜等真空镀膜领域，NeoDry36EU作为辅助泵或主泵使用。对于需要快速抽空的中小型镀膜机，它可以独立完成从大气到工作真空的抽气过程。其无油特性保证了镀膜室内不会因油蒸气而导致膜层附着力下降或出现针孔缺陷。在真空热处理炉和钎焊炉中，用于抽除炉内气氛，防止金属在高温下氧化。
5. 真空干燥与脱气
在锂离子电池生产中，电芯在注液前需要在真空环境下进行高温干燥，以去除极片和隔膜中的水分。NeoDry36EU可用于电池真空干燥炉的抽空系统，其气镇阀功能可以有效处理干燥过程中蒸发出来的水蒸气，防止其在泵腔内凝结导致故障。在变压器和电力电容器的真空注油工艺中，用于对器身进行真空脱气和干燥。
6. 分析仪器与检漏设备
在氦质谱检漏仪、残余气体分析仪等分析仪器中，NeoDry36EU可作为前级真空泵使用。其洁净的真空环境避免了油蒸气对质谱室和分析结果的污染，保证了检测灵敏度和准确性。在大科学装置和加速器领域，干式真空泵同样是获得超高真级条件的标准配置。
7. 实验室与研发
在大学和研究所的材料科学、表面物理、纳米技术等实验室中，NeoDry36EU是为各类真空实验平台（如分子束外延、扫描隧道显微镜、表面分析系统）提供洁净真空的理想选择。其低噪音、免维护的特点非常适合对噪音和洁净度有要求的实验环境。
四、总结
KASHIYAMA真空泵NeoDry36EU，以其无油的干式螺杆技术、智能变频控制、紧凑坚固的结构以及节能环保的特性，在半导体、平板显示、光伏、真空镀膜、真空干燥以及分析仪器等众多制造和科研领域展现出了的性能。它将真空技术从传统的“油润滑时代"带入了“干式洁净时代"，为对清洁真空有着严苛要求的现代工业提供了一种可靠、高效、低维护的解决方案。选择NeoDry36EU，意味着您选择了洁净无油的真空环境、长期稳定的运行可靠性、显著降低的维护成本以及对节能减排理念的切实践行。它以每一次无声的抽气，为精密制造和前沿科学研究构筑起坚实而纯净的真空基础。