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更新时间：2026-05-20 
浏览次数：6在半导体制造、真空镀膜、分析仪器以及各类科学实验领域，“真空"是一种看不见摸不着却至关重要的环境条件。而要准确地测量真空度的高低，就必须依靠可靠的真空测量仪器。OKANO AVG-300C11 真空计，正是这样一款为工业与科研用户设计的真空度监测仪表。它以宽量程覆盖、高稳定性、模拟输出及设定点控制等特性，帮助使用者随时掌握真空系统的状态，广泛应用于半导体设备、真空炉、镀膜机、分析仪器及各类真空应用系统。
一、产品概述与品牌背景
OKANO 是日本的真空测量与控制技术品牌，长期专注于真空计、真空开关及相关真空配件的研发与制造。其产品以高可靠性、良好的环境适应性以及长期稳定性而著称，深受半导体及真空设备制造商的信赖。
AVG-300C11 属于 OKANO 真空计产品线中的一款通用型数字式真空计。它采用皮拉尼（Pirani）或热电偶式测量原理（具体依内部配置而定），适用于从大气压到中高真空范围的宽区间测量。型号中的“300"指示系列代号，“C11"代表特定的传感器配置、输出接口及安装规格。该真空计的定位非常明确：为各类需要实时监测真空度的设备提供一种易于集成、读数直观、性能可靠的真空测量解决方案，既可独立显示，也可将测量信号远传给 PLC 或上位机参与自动化控制。
二、技术参数
以下为 AVG-300C11 的主要技术规格：
| 参数类别 | 详细规格 |
|---|---|
| 测量原理 | 皮拉尼（Pirani）电阻式 / 热电偶式（依配置） |
| 测量范围 | 1.0×10⁵ ～ 1.0×10⁻¹ Pa（大气压至 0.1 Pa） （部分配置可至 1.0×10⁻² Pa） |
| 显示方式 | LED 数码管（3½ 位或 4 位），科学计数法或直读 |
| 显示单位 | Pa、Torr、mbar 一键切换 |
| 精度 | ±15% 以内（典型值，在 1～10⁵ Pa 范围内） |
| 响应时间 | 约 30ms（快速响应型） |
| 模拟输出 | 0-10V DC 或 4-20mA（对数输出，对应测量范围） |
| 设定点输出 | 1 点或 2 点（视型号），继电器触点：30V DC / 1A（或 250V AC / 1A） 可设置上限或下限报警 |
| 传感器类型 | 可更换式规管（Pirani 传感器单元） |
| 传感器连接 | 专用电缆（长度可选，通常 2-5 米） |
| 真空连接法兰 | 1/8″ NPT、1/4″ NPT、NW16、KF16、VF25 等（依 C11 具体配置） |
| 电源 | 100-240V AC，50/60Hz（主机内置开关电源） |
| 功耗 | 约 15VA（最大） |
| 使用环境 | 温度：0-50℃ 湿度：20-85%RH（无结露） |
| 外形尺寸 | 约 96×96×130 mm（面板开孔：92×92 mm，符合 DIN 标准） |
| 重量 | 约 0.8 kg（主机） |
| 防护等级 | 前面板 IP54（防尘防溅） |
| 可选功能 | RS-232C / RS-485 通信（Modbus 协议）、数据记录、第二设定点 |
三、核心功能特性
宽量程覆盖，一表多用：从大气压（1.0×10⁵ Pa）到 0.1 Pa（甚至更低），AVG-300C11 能够在 5-6 个数量级的范围内提供连续的真空度读数。这意味着使用者无需为不同的真空阶段（粗抽、预抽、高真级）更换不同的测量仪表，一台仪器即可覆盖完整的抽气过程，简化了系统设计和操作。
清晰直观的数字显示：仪器配备高亮度的 LED 数码显示屏，能够以科学计数法直接显示当前真空度数值（如“1.2E-1"代表 0.12 Pa）。相比于传统的指针式真空表，数字显示消除了读数视差，结果更加准确直观。
多种单位一键切换：真空度单位在不同国家、不同行业有所差异，常见的有帕斯卡（Pa）、托（Torr）、毫巴（mbar）等。AVG-300C11 支持一键切换，用户可根据使用习惯或行业标准选择合适的单位，无需繁琐换算。
模拟输出与远程监控：为适应自动化系统需求，AVG-300C11 配备有模拟量输出接口（0-10V 或 4-20mA），该输出信号与当前真空度成对数关系，可实时传送给 PLC、数据采集卡或记录仪，使真空计成为自动化控制系统中的“感知器官"。
设定点输出与报警控制：AVG-300C11 内部可设置一个或两个真空度设定点（阈值）。当真空度达到设定值时，仪器通过继电器输出开关量信号，实现以下功能：
真空度达标后自动开启高真空阀门或启动分子泵
真空度低于下（漏气或泵故障）触发声光报警或切断加热电源
真空联锁保护，防止设备在真空度不足时误操作
传感器可互换性与耐污染设计：测量核心传感器（规管）设计为可更换结构，且具有一定的耐污染能力。当长期使用被工艺气体污染时，可方便地更换新规管，无需更换主机，降低维护成本。传感器电缆长度也可根据安装距离定制。
操作简便，一键校准：在大气环境下，按下“零点校准"或“大气调零"按钮即可完成校准，无需复杂菜单操作，便于现场快速调试。
四、主要用途与应用场景
OKANO AVG-300C11 真空计凭借其宽量程、稳定可靠、易于集成的特性，在众多需要真空环境的行业中得到广泛应用：
半导体与电子器件制造：在物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、等离子刻蚀、离子注入等工艺中，AVG-300C11 常用于设备的前级真空测量（从大气到低真空阶段），监测粗抽泵和预抽泵的工作状态，确保工艺腔体在达到高真满足预抽条件。
真空镀膜设备：无论是装饰性镀膜（表壳、手机壳的 PVD 镀膜）、功能性镀膜（光学镜头增透膜、汽车大灯反射膜），还是保护性镀膜（刀具涂层），都需要在真空腔体内完成。AVG-300C11 安装在镀膜机的旁抽管路或工艺腔体上，实时显示真空度变化，帮助操作者判断抽气速度、检漏以及确定镀膜开始时机。
真空热处理与钎焊炉：金属材料的真空退火、真空淬火、真空钎焊等工艺要求炉内保持较高真空度以防止氧化。AVG-300C11 用于监测前级真空度，配合高真空计（如电离真空计）共同完成全量程测量。其设定点输出可用于控制加热元件通电——只有当真空度达到安全值后才允许启动加热。
分析仪器与实验室设备：扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、X 射线光电子能谱仪（XPS）、质谱仪（MS）等分析仪器，其电子光学系统必须在高真空下工作。AVG-300C11 常用于这些仪器的样品预抽室或前级管道的真空测量，确保在打开样品室之前预抽室真空度已达标，避免大气污染主腔体。
真空包装与食品机械：真空包装机需要将包装袋内空气抽出以达到防腐保鲜效果。AVG-300C11 可用于监测真空腔内的压力变化，当达到设定真空度后控制封口装置动作。其宽量程和快速响应特性适合包装机快速循环的工作模式。
科研实验与教学演示：在物理、化学、材料科学等领域的实验室中，经常需要搭建各种真空系统（溅射台、蒸发台、真空干燥箱、手套箱过渡舱）。AVG-300C11 操作简便、读数直观、价格适中，成为许多实验室的真空测量仪表。
空调与制冷行业：空调、冰箱、热泵等产品的生产和维修过程中，需要对管路系统抽真空以去除水分和不凝性气体。AVG-300C11 可用于监测抽真空的深度，确保系统真空度达标后再充注制冷剂，避免冰堵和腐蚀问题。
五、使用注意事项
传感器匹配：使用前确保规管型号与主机匹配，并在参数中正确设置传感器类型。
污染防护：避免油蒸汽、粉尘、可凝性气体直接进入规管，必要时在规管前加装冷阱或过滤器。
校准周期：建议每 6-12 个月进行一次校准，特别是用于工艺控制的场合。
安装位置：规管应安装在真空系统的适当位置，避免靠近气源入口或放气阀，以获得代表性读数。
电缆长度：传感器电缆不宜过长（一般不超过 10 米），过长可能引入噪声或信号衰减。
六、总结
OKANO AVG-300C11 真空计是一台专业、可靠、易用的真空度测量工具。它不追求的测量下限，但恰好满足了从大气压到中高真空范围内绝大多数工业与科研应用的日常需求——宽量程、直观显示、模拟输出、设定点控制，功能齐全而不冗余。无论是半导体设备、镀膜机、分析仪器，还是实验室真空系统，AVG-300C11 都是一个值得信赖的选择，为各类真空工艺提供精准的“视觉"保障。