池田屋！KOFLOC 带显示器质量流量控制器 8700MC
8700MC 是日本 KOFLOC（科赋乐）株式会社 8700 系列中的一款附带显示器的质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）。

池田屋！KOFLOC 带显示器质量流量控制器 8700MC  

池田屋！KOFLOC 带显示器质量流量控制器 8700MC  

8700MC 是日本 KOFLOC（科赋乐）株式会社 8700 系列中的一款附带显示器的质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）。该产品在标准 MFC 的基础上集成了显示单元，支持瞬时/累计流量显示及报警设定，标配 RS485 通信功能，模拟输入输出 0-5VDC（可变更 4-20mA），适用于半导体制造、CVD 工艺、真空镀膜、分析仪器及燃料电池等场景中的气体流量精确控制与监测。

产品特点与设计

8700MC 具备以下特点：

• 大流量范围覆盖：以 N₂ 换算，流量范围从 F.S. 10SCCM 至 F.S. 100SLM（8700 系列为 10SCCM～20SLM，8750 系列为 30SLM～100SLM）

• 内置显示器：可灵活使用各种功能，包括瞬时/累计流量显示、报警设定

• 标配 RS485 通信：支持 Modbus-RTU 协议，便于与上位系统集成

• 模拟输入输出：标配 0-5VDC（可变更 4-20mA）

• 低功耗：24VDC 供电，消耗电流仅 300mA

流量规格与精度

8700MC 的满量程流量范围为 10SCCM 至 20SLM（N₂ 换算），控制范围为满量程的 2% 至 100%。在 25°C 条件下，控制精度为 ±1.0% F.S.，重现性为 ±0.5% F.S.，响应速度在 2 秒以内（达 ±2% F.S.）。温度系数为 ±0.1% F.S./℃（15–35℃ 范围内）。

工作压差与耐压

• 工作压差范围：F.S. < 5SLM 时为 50–300kPa；F.S. ≥ 5SLM 时为 100–300kPa

• 入口最大压力：500kPa(G) 以下

• 耐压：1MPa(G)

• 外部泄漏率（氦气）：1×10⁻⁸ Pa·m³/sec 以下

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等