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池田屋!MIYUKI 双位置气动蝶阀 BH-N50
池田屋!MIYUKI 双位置气动蝶阀 BH-N50
BH-N50 是日本 MIYUKI(美幸辉)株式会社 BH 系列中的一款双位置气动驱动蝶阀。该系列在标准蝶阀的基础上增加了中间开度调节功能,可在 0°至 45°范围内任意设定中间开度,实现一台阀门完成慢速排气和高速排气的双重功能,适用于半导体制造设备、真空镀膜装置及各类真空工艺中的气体流量控制与开关隔离场景。
结构与特点
BH-N50 采用 双气缸结构:除常规的全闭和全开用气缸外,还设有可任意设定开度(0°至 45°范围内)的中间位置调节气缸,通过调节气缸的行程限位实现两级开度控制。齿条与齿轮驱动机构结构简单可靠。气缸小型化设计,在开启时具备推力倍增功能以确保可靠动作,并在行程末端设有气垫缓冲效果以减轻冲击。全闭时阀板可实现密封。该阀门的安装姿势和方向无限制,阀体采用极薄的面间设计,流导性能优良。产品在洁净室内完成组装和检测。
开度调节功能
BH-N50 可通过调整中间位置调节气缸的端法兰拉出量(Y 值)来改变中间开度。根据技术资料,BH-25 至 BH-100 口径对应的开度与拉出量关系如下(参考计算值):45°开度时 Y=0mm,30°时 Y=3.1mm,15°时 Y=6.3mm,5°时 Y=8.4mm,0°(全闭)时 Y=9.4mm。实际使用中可能存在差异,建议根据工艺需求进行现场调整验证。
口径与法兰规格
该型号的公称口径为 50A(50mm),但需注意,BH 系列的 NW/KF 法兰规格中,N50 以上口径并非 JIS B8365 标准规格,部分夹具接头可能无法安装。法兰外径为 φ75 mm,采用 NW/KF 快速法兰连接方式,适用于真空管路的快速安装与拆卸。
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