精品！SAKAGUCHI 激光平面瞬时加热装置 EXL-CT-010-DS55
ExLASER® EXL-CT-010-DS55 是日本 SAKAGUCHI（坂口电热）株式会社推出的一款多功能激光平面瞬时加热装置。

精品！SAKAGUCHI 激光平面瞬时加热装置 EXL-CT-010-DS55

精品！SAKAGUCHI 激光平面瞬时加热装置 EXL-CT-010-DS55

ExLASER® EXL-CT-010-DS55 是日本 SAKAGUCHI（坂口电热）株式会社推出的一款多功能激光平面瞬时加热装置。该产品采用 808nm 波长、最大 1kW 输出的激光作为热源，通过均质化光学系统实现均匀的面加热，适用于半导体晶圆退火、MBE 器件衬底加热及新材料研发等对加热速度和温度均匀性有要求的应用场景。

加热原理与特点

ExLASER® 采用 激光直接加热 方式，激光束通过均质器（Homogenizer）整形为正方形光斑，对目标区域进行直接加热。该方式具有以下特点：

• 超快速加热和冷却：激光加热可实现较快的升温速率（数秒内达到目标温度）

• 均匀加热：均质化光学系统可在加热区域内实现较好的温度均匀性（±5%）

• 选择性加热：仅加热被照射的物体，无需加热周围环境，有助于实现节能运行

• 可编程温度控制：可根据工艺要求进行温度控制（需选配温度控制单元）

光学与电气规格

• 激光波长：808nm

• 最大激光输出功率：1kW

• 加热区域：□55 mm

• 光学系统均匀性：±5%

• 工作距离：400mm 以上

主机与配件

• 主机外形尺寸：高 625 mm × 宽 700 mm × 深 320 mm

• 主机电源：1P200V 20A

• 专用冷水机电源：1P200V 15A

• 标准配件：专用冷水机

应用领域

• MBE（分子束外延） 器件衬底加热

• 晶圆退火：硅（Si）、碳化硅（SiC）、砷化镓（GaAs）等

• 多层器件表面退火：适用于微型化器件的快速热处理

• 新材料研发：对快速热循环有要求的材料处理

选配件（需另行订购）

• 真空室

• 温度控制单元

• 辐射温度计

• 数字指示控制器

• 红外透射窗

• PCB 支架（适用于 2 英寸 PCB）

• 组合光学系统

• 专用电路板支架（兼容 10mm 方形电路板）

• 各种衬底（蓝宝石、硅、砷化镓等）

定制化说明

ExLASER® 为标准产品，但可根据客户要求进行修改和定制。上述规格为标准配置，如需其他功率、加热区域尺寸或特殊功能，可联系厂家进行定制。

注意事项

• 该产品为工业用激光加热装置，需专业人员操作

• 使用时需配备专用冷却系统（冷水机已包含在标准配件中）

• 激光等级较高，使用时需遵守激光安全规范，佩戴相应防护眼镜

• 温度控制需通过选配的温度控制单元和辐射温度计实现

该产品为定制化程度较高的设备，标准价格因配置而异，请以厂家正式报价为准。建议在选购前根据被加热物体的尺寸、所需温度和工艺要求与厂家沟通确认具体规格。