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现货!TORAY 氧化锆氧分析仪
  • 产品型号:LC-450A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-07-21
  • 访  问  量:11
简要描述:

现货!TORAY 氧化锆氧分析仪 LC-450A
该机型基于氧化锆浓差电池原理,通过内置泵连续抽取样气,可实现从 ppm 级至 100% 的宽范围氧浓度测量,适用于半导体制造、惰性气体纯化、工业炉气氛监控及各类工艺过程中的氧浓度在线分析。

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现货!TORAY 氧化锆氧分析仪 LC-450A

现货!TORAY 氧化锆氧分析仪 LC-450A

LC-450A 是日本 TORAY Engineering(东丽工程)株式会社开发的一款台式/面板安装型氧化锆式氧分析仪。该机型基于氧化锆浓差电池原理,通过内置泵连续抽取样气,可实现从 ppm 级至 100% 的宽范围氧浓度测量,适用于半导体制造、惰性气体纯化、工业炉气氛监控及各类工艺过程中的氧浓度在线分析。

测量原理与性能指标

氧化锆传感器在高温下对氧离子具有选择性透过特性,其产生的电动势与样气和参比气侧的氧分压差呈对数关系,据此可将电动势信号换算为氧浓度值。LC-450A 的测量范围为 0-1/10/100/1000 ppm 及 1/10/100 vol% O₂,覆盖 10⁻²⁰ 至 10⁰ atm 氧分压区间,量程切换支持自动与固定两种模式。在 0 至 10 ppm 量程以上,重复性为满量程的 ±1% 以内;0 至 1 ppm 量程及对应大气压条件下的浓度值不在精度保证范围内。空气点稳定性为 ±1% FS/24 小时以内,90% 响应时间在 30 秒以内。

采样系统与样气条件

仪器内置采样泵,采用连续抽吸式采样,传感器部位流量约为 60 ± 10 mL/min。样气流量要求为 1,000 至 2,000 mL/min,入口压力需控制在 29.4 kPa 以下,温度范围为 0 至 50°C,湿度应保持露点低于环境温度。样气中不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫氧化物等)、含有机硅气体、可燃成分、油分及水分。

输出与通信接口

记录仪输出可在 4-20 mA 或 0-20 mA 之间切换(0-10 V 为选配),输出为绝缘型,负载电阻需在 550 Ω 以下。传输输出标配 RS-232C 串行接口,支持单向数据通信。报警输出包括 FAIL(设备异常)1 点、ALM(浓度高/低报警)2 点、RDY(预热信号)1 点及 MRK(量程标记)2 点,均为无电压触点输出,触点容量为 30 V DC/AC、0.5 A 以下。仪器配备自诊断功能,可对传感器温度异常、校准异常、机内温度异常、CPU 异常、炉温异常、不对称电位异常、传感器电阻异常等状态进行监测。

结构与供电

主机外形尺寸为 210 mm(宽)× 134 mm(高)× 300 mm(深),质量约 6 kg。气体连接口(INLET / BYPASS OUT / OUTLET)均为 Rc1/4 规格。供电电源适用 100 至 240 V AC,50/60 Hz,额定功耗为 50 VA(常态下约 35 VA)。该机型符合 CE、UKCA 安全标准(EN 61010-1)、EMC 标准(EN 61326-1)及 RoHS 环保指令(EN 63000)。

使用环境与选配件

仪器应安装于室内非防爆区域,环境温度范围为 0 至 40°C,环境湿度为 20 至 85% RH(无凝露)。预热时间(从通电至可测量状态)为 6 分钟以内。选配件包括活性炭过滤器(吸附微量有机物及少量可燃气体)、棉过滤器(拦截粉尘和固体颗粒物)及硅过滤器(吸附含硅气体)。该型号的直流电源版本对应型号为 LC-450D(DC 24 V),用户可根据现场供电条件进行选择。


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