现货！USHIO 深紫外灯 UXM-501MD
USHIO UXM-501MD型深紫外灯，正是在此需求下开发的一款500W高压汞氙灯，其设计旨在为光刻与精密加工提供可靠的深紫外辐射

现货！USHIO 深紫外灯 UXM-501MD 

现货！USHIO 深紫外灯 UXM-501MD 

在半导体光刻、高精度UV固化及短波长光化学反应等应用中，需要一种在深紫外区域具有高辐射强度且接近点光源的光源。USHIO UXM-501MD型深紫外灯，正是在此需求下开发的一款500W高压汞氙灯，其设计旨在为光刻与精密加工提供可靠的深紫外辐射。

一、 产品基本规格参数

UXM-501MD深紫外灯的主要技术指标如下：

二、 波长特性与光源特点

该灯的辐射波长范围在230至320nm的深紫外区域，适用于依赖短波长的光化学反应和曝光制程。它兼具氙灯从紫外到红外的连续光谱，以及超高压汞灯在紫外区的高能量特性。相比超高压汞灯，在400nm以下的短波长区域可获得更高的辐射能量，适合用于集光与均匀照明等光学系统的控制。

三、 典型应用场景

该灯设计为高亮度点光源，主要应用于以下领域：

• 半导体光刻与微加工：用于晶圆或封装基板的精细线路曝光，在半导体和电子封装领域有应用。有文献记载其在光刻工艺中作为254nm深紫外曝光光源的使用记录。

• UV固化：用于对深紫外波段敏感的粘合剂、涂层或油墨的固化。

• 光化学反应：作为短波长光化学实验的驱动光源。