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现货!JIMA 分辨率测试卡 RT RC-05B
现货!JIMA 分辨率测试卡 RT RC-05B
在微焦点X射线检测系统的应用中,系统分辨率的精准度直接影响检测结果的可靠性。JIMA(日本检测仪器制造商协会)推出的RT RC-05B型分辨率测试卡,采用半导体光刻技术制作,用于校准和监控微焦点或纳米焦点X射线系统的分辨率。该测试卡通过可视化的线对/空间(L/S)图案,帮助用户量化评估系统的最小可分辨尺寸,适用于电子元器件、半导体封装及精密铸件等无损检测场景。
一、 产品基本规格参数
JIMA RT RC-05B分辨率测试卡的主要技术指标如下:
| 参数项目 | 规格指标 |
|---|---|
| 产品型号 | RT RC-05B |
| 线对/空间宽度 | T型:3、4、5、6、7、8、9、10µm;I型:15、20、25、30、35、40、45、50µm |
| 宽度公差 | 3-4µm:±15%;5µm及以上:±10% |
| 每组线条数 | 3条线(2个空间) |
| 吸收体材料 | 金(Au),厚度>1.0µm |
| 保护膜 | 聚醚薄膜,厚度0.05mm |
| 外形尺寸 | 40×30×5mm(铝基座) |
| 芯片尺寸 | 8×8×0.2mm(硅基) |
| 工作温度 | 10℃ 至 70℃ |
| 保护方式 | 塑料保护盒 |
| 校准证书 | 附SEM测量校准证书 |
二、 技术特点与操作说明
RT RC-05B的图案布局覆盖3-50µm的线宽范围,通过T型(3-10µm)和I型(15-50µm)两种布局排列。使用时,将保护膜面朝向X射线源方向放置,通过观察能够分辨的最小线对尺寸,评估系统的分辨率能力。
该测试卡采用金作为吸收体材料,厚度大于1.0µm,对X射线具有较高的吸收效率,适合微焦点X射线系统成像。每个线对组由3条线(2个空间)构成,便于在X射线图像中清晰辨识。
三、 使用与保存注意事项
请勿拆卸铝基座,否则将无法保持测试卡的性能,且拆卸后无法重新组装。
存放时应避免高温高湿环境,建议存放于干燥器中。
请勿触摸保护膜表面,如保护膜剥落可能损坏内部狭缝图形。
避免对测试卡施加物理冲击,冲击后可能导致测试图形受损。
该测试卡为消耗品,不可维修或重新组装。
如表面有灰尘附着,请使用镜头用气吹清洁,不可刮擦或损伤内部图形。
四、 典型应用场景
工业X射线无损检测:用于电子元器件、半导体封装、铸件、焊点等的微焦点X射线检测系统分辨率校准与验证。
科研与实验室:用于X射线成像系统的性能验证与对比分析。
设备维护与验收:用于X射线检测设备的定期性能验证与故障排查。
如需获取该型号的详细操作手册、选型支持或采购信息,可通过池田屋实业提供该型号产品的供应及相关技术咨询服务。