现货！KOSAKA 精密检出器 PU-UG5SC
在半导体晶圆、平板显示器及精密光学元件的制造过程中，表面微观形状与台阶高度的精确测量直接关系到产品性能与工艺控制。

现货！KOSAKA 精密检出器 PU-UG5SC

现货！KOSAKA 精密检出器 PU-UG5SC

在半导体晶圆、平板显示器及精密光学元件的制造过程中，表面微观形状与台阶高度的精确测量直接关系到产品性能与工艺控制。KOSAKA（小坂研究所）PU-UG5SC型精密检出器，是专为EC系列表面粗糙度/轮廓形状测量仪设计的接触式传感器。该检出器采用可变测定力设计，配合专用触针臂可实现最大1800μm的Z向测定范围，适用于各类精密表面的微细形状评价。

一、 产品基本规格参数

KOSAKA PU-UG5SC精密检出器的主要技术指标如下：

二、 产品定位与兼容性

PU-UG5SC是KOSAKA EC系列表面测量仪器的重要配件，主要用于表面粗糙度、波纹度及台阶高度的测量。根据搜索结果，该检出器适用于EC2500、EC2700H、EC3300P、EC4100H、EC5100H、EC6100等多款机型。其测定力可在100mN以内调节，以适应不同硬度和性质的被测材料。

三、 应用领域

• 半导体与FPD行业：晶圆表面台阶高度、光刻胶膜厚及平板显示器基板的微细形状评价。

• 精密机械加工：加工件表面粗糙度与轮廓形状的检测。

• 材料科学：薄膜、涂层等表面微细结构的量化分析。

四、 使用与维护注意事项

• 该检出器为精密接触式传感器，使用时应避免撞击或跌落，防止钻石触针受损。

• 测定力需根据被测样品材质和硬度进行调整，过大的测定力可能损伤样品表面或加速探针磨损。

• 建议定期使用标准台阶样板或标准粗糙度样块对检出器进行校准，以确保测量数据准确性。

• 长期不使用时，应将检出器存放于专用保护盒内，避免灰尘和潮湿环境影响其性能。