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荏原制作所(EBARA CORPORATION)推出的 EV-PA250 风冷干式真空泵,是 EV-PA 系列中的紧凑型入门型号。该泵采用多级罗茨(Roots)式非接触转子结构,抽速达 230 L/min(气镇开启时 200 L/min),极限压力可达 0.5 Pa 。产品采用全风冷设计,无需冷却水,仅需单相 100-240V 电源即可工作。凭借其轻量化(仅 16 kg)和便携性,该泵广泛用于分析仪器前级真空、便携式检漏仪以及需要反复搬动的研究和试验用途。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | EV-PA250 |
| 抽速 | 230 L/min(气镇开启:200 L/min) |
| 极限压力 | 0.5 Pa(气镇开启:2.0 Pa) |
| 电源 | 单相 100-230V,50/60Hz |
| 电源容量 | 0.45 kVA |
| 功率(极限压力时) | 约 0.24 kW |
| 冷却方式 | 空气冷却 |
| 吸气口/排气口 | NW25(KF25 快装法兰) |
| 外形尺寸(W×D×H) | 189mm × 412mm × 272mm |
| 重量 | 约 16 kg |
| 噪音 | 约 55-58 dB(A) |
1. 全干式·无油运行
采用爪式非接触多级转子结构,泵腔无需润滑油,排气无油雾污染,可获得洁净真空,有效避免工件或腔体受到油污污染。
2. 风冷·即插即用
无需冷却水配管,所需公用工程仅为电源,可在单相 100V-240V 宽电压下运行。国内 220V 电源可直接使用。
3. 非接触式设计·免维护
旋转部件采用非接触式结构,无易损油封和密封(Tip Seal),无需定期更换密封件或润滑油,使用寿命长,可实现免维护运行。定时齿轮和轴承采用全氟聚醚(PFPE)油和润滑脂润滑,出厂时已加注,后续无需换油。
4. 小型·轻量·便携
重量仅 16 kg,机身自带提手设计,单人即可搬运,适合在有限空间内安装或在不同设备间移动使用。
5. 低振动·低噪音
运行噪音约 55-58 dB(A),接近低噪级实验室标准,适合在安静环境中使用。
6. 抗腐蚀与气镇功能
标配气镇阀,可抽除微量水汽及弱腐蚀性工艺气体,腔体具备防腐涂层。开气镇时极限压力为 2.0 Pa。
7. 通信接口
可选配 15 针 D-SUB 远程启停/故障报警通信口,支持远程监控。
| 项目 | EV-PA250 | EV-PA500 |
|---|---|---|
| 抽速 | 230 L/min | 500 L/min |
| 电源容量 | 0.45 kVA | 0.66 kVA |
| 功率(极限压力时) | 约 0.24 kW | 约 0.27 kW |
| 重量 | 约 16 kg | 约 21 kg |
| 噪音 | 约 55-58 dB(A) | 约 58 dB(A) |
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 分析仪器 | 电子显微镜(SEM)、质谱仪、检漏设备、表面分析仪器的前级泵 |
| 便携式检漏仪 | 配合检漏设备进行现场泄漏检测 |
| 半导体制造 | 小型 Load Lock 腔体、微型镀膜、等离子清洗 |
| 实验室研究 | 小型真空干燥、试样脱泡、溶剂蒸馏、真空封装 |
| 通用真空应用 | 轻载连续运行需求,如真空吸盘、小型腔体负压抽吸 |
抽速需求:EV-PA250 抽速 230 L/min,适合分析仪器前级泵及实验室通用真空需求;如需更快抽速,可考虑 EV-PA500(500 L/min)
电源条件:单相 100-230V 宽电压,国内 220V 可直接使用
接口规格:吸气口和排气口均为 NW25(KF25)快装法兰,与标准真空配件兼容
使用环境:无需冷却水,仅需电源,适合无冷却水配管的场所
洁净度要求:全干式无油设计,适用于对油污染敏感的真空应用
轻载适用性:EV-PA250 被归类为轻载应用(light duty applications),适合非连续满负荷运行场景
泵需在洁净环境下使用,抽除腐蚀性气体或粉尘时建议配置前级过滤器
极限压力 0.5 Pa 为关气镇时数值,开启气镇时极限压力升至 2.0 Pa
该泵出厂时已加注润滑剂,正常使用无需换油,但需使用推荐润滑剂进行维护
使用前建议通读产品说明书,确认电源电压与现场匹配
符合 CE、NRTL 和 SEMI-S2 标准
荏原 EV-PA250 风冷干式真空泵通过小型轻量化设计、全干式无油结构及风冷即插即用便利性,为分析仪器、实验室研究及便携式检漏等应用提供了一套高洁净度、免维护的真空解决方案。其 230 L/min 的抽速、0.5 Pa 的极限压力、仅 16 kg 的重量及单相宽电压供电,适用于需要洁净真空、便携移动及无需冷却水的多样化轻载真空应用场景。