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现货!ULVAC 传感器型皮拉尼真空计
  • 产品型号:SP1
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-07-14
  • 访  问  量:8
简要描述:

现货!ULVAC 传感器型皮拉尼真空计 SP1
ULVAC爱发科株式会社推出的 SP1 传感器型皮拉尼真空计,是一款采用经过验证的“Model: WP"测量头的传感器单元。

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产品详情

现货!ULVAC 传感器型皮拉尼真空计 SP1

现货!ULVAC 传感器型皮拉尼真空计 SP1

传感器单元(SP1)是“Model:G-TRAN"的皮拉尼真空计测量单元。「测定子和电路一体型(测定子可以更换)」结构,能够降低成本和节省空间。

    特点

    • 传感器规格:如果需要压力·
      空白计划降低
      ·控制板空间节省
      ·配线简化

    • 决定子交换更容易

    • 灯丝采用耐腐蚀材料铂

    • 其中一个使用的测量组件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用

    • 可以输出2个设定点

    • SP1:压力为0至5 V输出(非输出)

    • 电源电压:24 VDC输入

    用途

    • 用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制

    • 用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

    规格

    类型传感器单元
    模型SP1
    兼容的传感器头WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

    准确性


    ±15%(51 Pa~760 Pa)
    ±30%(10 Pa~1000 Pa)
    ±50%(0.4 Pa~3000 Pa)
    工作温度范围10~40℃
    测量值输出非线性输出:0 至 5VDC(最大 10V)
    设定点 1/2 压力设定调节监视器非线性输出:0 至 5VDC(最大 10V)
    控制输出电压开路集电极输出,负逻辑
    错误信号
    设定点 1/2
    LED显示屏功率、误差、设定点 1、设定点 2
    电源电压DC24V±2V,90mA(最大)
    输入/输出连接器D-sub-15P(M2.6螺丝)
    重量190克/0.41磅(不含传感器头)

    标准配件

    输入/输出连接器 1 个
    快速使用手册 1 份

    IO 和模拟 GND 与电源 GND 不隔离。


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