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现货!ULVAC 传感器型皮拉尼真空计 SP1
现货!ULVAC 传感器型皮拉尼真空计 SP1
传感器规格:如果需要压力·
空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化
决定子交换更容易
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用
可以输出2个设定点
SP1:压力为0至5 V输出(非输出)
电源电压:24 VDC输入
用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容的传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15%(51 Pa~760 Pa) |
| ±30%(10 Pa~1000 Pa) | |
| ±50%(0.4 Pa~3000 Pa) | |
| 工作温度范围 | 10~40℃ |
| 测量值输出 | 非线性输出:0 至 5VDC(最大 10V) |
| 设定点 1/2 压力设定调节监视器 | 非线性输出:0 至 5VDC(最大 10V) |
| 控制输出电压 | 开路集电极输出,负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED显示屏 | 功率、误差、设定点 1、设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V,90mA(最大) |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P(M2.6螺丝) |
| 重量 | 190克/0.41磅(不含传感器头) |
标准配件 | 输入/输出连接器 1 个 |
| 快速使用手册 1 份 |
IO 和模拟 GND 与电源 GND 不隔离。