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MIYUKI 气动蝶阀 B-J100
MIYUKI 气动蝶阀 B-J100
三幸株式会社（MIYUKI Co., Ltd.）推出的 B 系列气动蝶阀，是一款通过齿条齿轮（Rack & Pinion）简单驱动实现高可靠性开关动作的真空阀门。型号 B-J100 口径为 100A，采用 JIS B 2290 保守用法兰规格，适用于半导体制造、真空镀膜等需要高导通性能与可靠密封的真空工艺场景。该产品在洁净室内完成组装与检查，确保低颗粒与高洁净度。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | B-J100 |
| 系列 | B 系列 |
| 口径 | 100A |
| 法兰规格 | J（JIS B 2290 保守用法兰） |
| 泄漏量 | 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s 以下 |
| 使用压力范围 | 10⁵ ～ 10⁻⁵ Pa |
| 接气部材质 | SUS304 |
| 阀体密封（盘片密封） | 氟橡胶 O 形圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 动作气源压力 | 0.4 ～ 0.6 MPaG |
| 开闭指示 | 带微动开关（开/关各位置检测） |
| 安装姿势 | 无限制 |
| 质量 | 5 kg |
| 尺寸符号 | 数值（mm） |
|---|---|
| A | 20 |
| B | 102 |
| D | 185 |
| n-φE | 8-φ12 |
| F | 160 |
| G | 101 |
| H | 195 |
| J | 103 |
| K | 120 |
| L | 200 |
| M | 5 |
| N | 47 |
| P（O 形圈） | V120 |
| Q | 61 |
| R | 20 |
| S（气口） | Rp1/8 |
1. 齿条齿轮驱动，可靠性高
采用齿条齿轮（Rack & Pinion）简单驱动机构，结构紧凑，动作可靠，寿命长。
2. 高导通性能
B 系列蝶阀在同类真空阀门中具有最高的口径导通性能，适用于需要大流量排气或高抽速的真空系统。
3. 全闭密封
全闭时，阀体（盘片）与阀座密封，确保可靠切断流路。
4. 安装姿势无限制
取付姿势及方向无限制，可根据现场空间灵活安装。
5. 极薄面间设计
面间尺寸极薄，节省安装空间，同时提高导通性能。
6. 洁净室组装与检查
产品在洁净室内完成组装和检查，减少颗粒污染，适用于高洁净度要求的真空工艺。
7. 带微动开关开闭指示
标配微动开关，可检测开/关各位置状态，便于系统集成与远程监控。
法兰规格选项：
| 法兰代码 | 规格名称 | 适用口径范围 |
|---|---|---|
| J | JIS B 2290 保守用法兰 | 25A ～ 400A |
| I | ISO 1609（螺栓紧固法兰） | 40A ～ 250A |
| N | NW/KF 法兰 | 40A ～ 160A |
| C | CF 法兰（可烘烤） | 40A ～ 250A |
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 半导体制造 | 刻蚀、CVD、PVD 工艺的真空管路开关 |
| 真空镀膜 | 溅射、蒸镀等工艺的真空隔离 |
| 真空热处理 | 真空炉的排气与隔离 |
| 科研实验 | 实验室真空系统的开关控制 |
确认所需口径（25A ～ 400A）
确认法兰规格（J/I/N/C）
确认动作气源压力（0.4 ～ 0.6 MPaG）
确认是否需要特殊规格（如高温、防腐蚀等）
确认安装空间是否适配阀门尺寸
MIYUKI B-J100 气动蝶阀通过齿条齿轮驱动与极薄面间设计，为半导体、真空镀膜等行业提供了一种高导通性能、高可靠性的真空开关解决方案。其 100A 口径、JIS B 2290 法兰规格、全闭密封及洁净室组装等特点，适用于需要大流量排气与可靠切断的真空工艺场景。
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