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MIYUKI控制蝶阀 BAR-050-S
MIYUKI控制蝶阀 BAR-050-S
三幸株式会社（MIYUKI Co., Ltd.）推出的 BAR-050-S 控制蝶阀，是 BAR 系列标准型代表规格。型号 BAR-050-S 口径为 50A，采用带阀门密封功能的标准型设计，适用于半导体制造、真空镀膜等需要精确控制真空压力且要求切断流路的工艺场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | BAR-050-S |
| 系列 | BAR 系列 |
| 口径 | 50A |
| 阀门类型 | 标准型（带密封） |
| 工作压力范围 | 10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa |
| 内部密封泄漏量 | 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s 以下 |
| 外部密封（轴部）泄漏量 | 1 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下 |
| 接气部材质 | SUS304 |
| 阀体密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 轴密封 | 氟橡胶 O 形圈 |
| 耐热温度（本体） | 150℃ |
| 耐热温度（电机） | 40℃ |
| 断电时阀门动作 | 停止（无保持力） |
| 驱动方式 | 电机直接驱动 |
1. 标准型带阀门密封功能
BAR-050-S 为标准型，具备阀门密封功能，内部泄漏量 ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s，可在需要切断流路的真空工艺中可靠关断。
2. 低颗粒产生
取消了金属滑动部件，有效减少了阀门动作过程中颗粒物的产生，适用于对洁净度要求较高的真空工艺。
3. 低噪音运行
开启、关闭及控制操作噪音极低，适合在洁净室等对噪音有要求的场所使用。
4. 小开度压力稳定性
在小开度条件下仍能保持稳定的压力控制，适用于需要精细调节的真空工艺。
5. 无反向间隙（电机直接驱动）
电机直接驱动阀板，无需齿轮或传动机构，消除了反向间隙（反冲），提高了位置控制精度。
6. 优良的密封性能
内部密封（阀体）：1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s 以下
外部密封（轴部）：1 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s 以下
| 型号示例 | 口径 | 阀门类型 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| BAR-025-S | 25A | 标准型 | 小口径真空系统 |
| BAR-050-S | 50A | 标准型 | 中口径真空系统 |
| BAR-100-S | 100A | 标准型 | 大口径真空系统 |
| BAR-100-L | 100A | 泄漏型 | 仅需压力控制，无需切断 |
| BAR-250-S | 250A | 标准型 | 最大口径标准型 |
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 半导体制造 | 刻蚀、CVD、PVD 工艺的真空压力控制 |
| 真空镀膜 | 溅射、蒸镀等薄膜沉积工艺的压力调节 |
| 真空热处理 | 真空炉的排气压力控制 |
| 科研实验 | 实验室真空系统的压力控制 |
确认所需口径（25A ～ 250A）
确认是否需要阀门密封功能（标准型或泄漏型）
确认工作压力范围（10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa）
确认真空计与控制器的信号兼容性
确认是否需要防断电功能
确认安装空间是否适配阀门尺寸
三幸 BAR-050-S 控制蝶阀通过标准型带密封设计、低颗粒产生、低噪音运行及无反向间隙的电机直接驱动方式，为半导体制造、真空镀膜等行业提供了一种高可靠性的真空压力控制解决方案。其 50A 口径、10⁵ Pa 至 10⁻⁵ Pa 的工作压力范围及优良的密封性能，适用于需要精确控制真空压力的多种工艺场景。
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