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TOKYO RYUKI 热式质量流量计 RM-155
TOKYO RYUKI 热式质量流量计 RM-155
东京龙机工业株式会社（Tokyo Ryuki Industrial Co., Ltd.）推出的 RM-155 热式质量流量计，是一款基于热式质量流量传感原理的紧凑型气体流量测量装置。型号 RM-155 通过测量传感器温度分布的变化来检测气体流量，适用于空气、氮气、氧气等气体的流量监测。产品体积小巧，最大可测量 60 SLM 的流量，可选配专用电源及瞬时显示流量计。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 品名 | RM-155 |
| 测量流量范围（满量程） | 1 SLM、2 SLM、5 SLM、10 SLM、20 SLM（50 SLM 可选） |
| 流量单位 | SLM（0°C，1 atm） |
| 适用气体 | 空气、氮气、氧气 |
| 流量精度 | FS ±2%（1～20 SLM）/ FS ±3%（50 SLM） |
| 重复性 | ±0.5% FS 以内 |
| 最小工作压差 | 65 Pa ～ 2 kPa 以上（1～20 SLM）/ 3 kPa ～ 9.8 kPa 以上（50 SLM） |
| 工作压力 | 980 kPa（10 kgf/cm²） |
| 耐压 | 980 kPa（10 kgf/cm²） |
| 外部泄漏标准 | 1×10⁻⁷ Pa·m³/s 以下 |
| 可用温度 | 5 ～ 60°C（保证精度：15 ～ 35°C） |
| 流量输出信号 | 0-5 VDC（输出阻抗 45Ω） |
| 使用电源 | +15V±0.5VDC 40mA / -15V±0.5VDC 10mA |
| 连接端口 | Rc1/4 |
| 接气材料 | SUS303、氟橡胶 |
| 外形尺寸 | 59 × 26.6 × 65（mm） |
| 质量 | 350 g |
1. 热式质量流量测量原理
RM-155 的基本结构包括热式质量流量传感器、旁路层流元件和桥式电路。电流流过缠绕在传感器上的电阻器产生热量，当部分气体流入传感器时，传感器的温度分布发生变化，桥式电路检测到这种变化并将其提取为流量输出信号。
2. 紧凑型设计
外形尺寸仅为 59 × 26.6 × 65 mm，质量 350 g，适用于安装空间有限的设备内部。
3. 多种流量范围可选
满量程范围从 1 SLM 至 50 SLM 可选，可覆盖从小流量到中等流量的气体测量需求。
4. 高精度与重复性
精度：FS ±2%（1～20 SLM）/ FS ±3%（50 SLM）
重复性：±0.5% FS 以内
5. 宽广的工作压力范围
最大工作压力达 980 kPa（10 kgf/cm²），适用于中压气体管线的流量测量。
6. 低外部泄漏率
外部泄漏标准为 1×10⁻⁷ Pa·m³/s 以下，适用于对泄漏有严格要求的气体测量应用。
1. RM-155 专用瞬时显示流量计
流量显示：LED 数字显示，字符高度 8mm（红色）
电源：DC 5V ±5%，120mA 最大值
外形尺寸：48（W）× 24（H）× 73（D）mm
质量：约 46 g（仅主机）
2. RM245 型专用电源（带流量指示器）
使用电源：AC100V ±15%，50/60Hz，10VA
流量输出信号 1：0-5V DC（输出阻抗 47Ω）
流量输出信号 2：4-20mA DC（负载电阻 1kΩ）
流量指示器连接端子：包含连接器端子（4 针）
外形尺寸：102 × 125 × 30（mm）
质量：约 350 g
| 应用类型 | 说明 |
|---|---|
| 实验室气体测量 | 实验装置中微小气体流量的精确测量 |
| 气体吹扫系统 | 管道吹扫过程中的流量监测 |
| 环境监测 | 气体采样流量的稳定控制 |
| 半导体制造 | 工艺气体流量的精确控制 |
确认目标气体种类（空气、氮气、氧气等）
确认所需流量范围（1 SLM 至 50 SLM）
确认工作压力与温度条件
根据需要选配专用电源（RM245 型）或瞬时显示流量计
接气材料为 SUS303 和氟橡胶，需确认与目标气体的兼容性
东京龙机 RM-155 热式质量流量计通过热式质量流量传感技术，为空气、氮气、氧气等气体提供了一种紧凑、高精度的流量测量方案。其 350 g 的轻量设计、980 kPa 的工作压力及可选配的专用电源与显示单元，适用于实验室、气体吹扫及半导体制造等领域的微小至中等气体流量测量
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