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IKO 并行驱动平台 PD70S
IKO 并行驱动平台 PD70S
池田屋推出IKO(日本汤姆逊株式会社)品牌PD70S并行驱动平台。该产品为独特的精密定位XY平台,采用双滚珠丝杠平行驱动结构,XY方向有效行程±10mm,重复定位精度±0.002mm,适用于半导体制造、电子元件组装及精密定位等对精度和空间有严格要求的应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | 并行驱动平台 |
| 型号 | PD70S |
| 品牌 | IKO(日本汤姆逊株式会社) |
| 驱动方式 | 双滚珠丝杠平行驱动 |
| XY方向有效行程 | ±10mm |
| UV方向有效行程 | ±7mm |
| XY方向最大速度 | 50mm/s(电机转速3000rpm时) |
| UV方向最大速度 | 35mm/s(电机转速3000rpm时) |
| 最大有效载荷质量 | 5kg(工作台中心) |
| 重复定位精度 | ±0.002mm |
二、工作原理
通过控制两根平行滚珠丝杠的旋转方向实现XY运动:
X方向移动:P1轴和P2轴同方向旋转
Y方向移动:P1轴和P2轴反方向旋转
对角线移动:仅旋转P1轴或P2轴
圆弧运动:组合上述动作可实现
*从滚珠丝杠侧观察电机本体时,正向旋转为顺时针(向右)旋转。
三、核心特点
独特的并行驱动结构:采用IKO结构,两根滚珠丝杠平行排列,通过机构将线性运动转换为XY运动,实现低矮外形。
超高重复定位精度:重复定位精度±0.002mm,满足精密定位需求。
无移动电机/电缆设计:电机固定不动,不随工作台移动,无需拖链,工作区域不受限制。
低矮外形:电机并联布置,实现远低于传统堆叠XY平台的极低截面高度。
免维护导轨:线性导轨部分采用免维护的C型润滑导轨,结构紧凑,经久耐用。
自由工作区域:电机固定设计使得工作区域不受限制,设备设计高度灵活。
四、与传统XY平台对比
| 对比项 | PD70S并行驱动平台 | 传统堆叠XY平台 |
|---|---|---|
| 电机位置 | 固定(不随工作台移动) | 随工作台移动 |
| 电缆布线 | 固定布线 | 需拖链 |
| 外形高度 | 极低 | 较高 |
| 工作区域 | 不受限制 | 受电机/电缆移动范围限制 |
| 重复定位精度 | ±0.002mm | 取决于各轴精度叠加 |
| 维护性 | 外部易于接近 | 受限 |
五、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 半导体制造 | 晶圆精密定位 |
| 电子元件组装 | 高精度贴装、对准 |
| 光学设备 | 精密光路调整 |
| 精密测量 | 高精度XY定位 |
| 医疗设备 | 精密样品定位 |
| 自动化设备 | 受限空间内的精密定位 |
六、使用注意事项
实际最高速度需考虑电机特性、负载条件等因素
双滚珠丝杠的同步控制需要专用控制器
X方向移动需两轴同向旋转,Y方向移动需两轴反向旋转
最大有效载荷质量为5kg(工作台中心)
可根据需求定制尺寸和规格,欢迎咨询
池田屋表示,IKO PD70S并行驱动平台凭借±0.002mm超高重复定位精度、独特的双丝杠并行驱动结构及低矮外形设计,可满足半导体制造、电子元件组装等精密定位需求。