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IKO 并行驱动平台
  • 产品型号:PD70S
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-06-30
  • 访  问  量:5
简要描述:

IKO 并行驱动平台 PD70S
该产品为独特的精密定位XY平台,采用双滚珠丝杠平行驱动结构,XY方向有效行程±10mm,重复定位精度±0.002mm,适用于半导体制造、电子元件组装及精密定位等对精度和空间有严格要求的应用。

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产品详情

IKO 并行驱动平台 PD70S

IKO 并行驱动平台 PD70S

池田屋推出IKO(日本汤姆逊株式会社)品牌PD70S并行驱动平台。该产品为独特的精密定位XY平台,采用双滚珠丝杠平行驱动结构,XY方向有效行程±10mm,重复定位精度±0.002mm,适用于半导体制造、电子元件组装及精密定位等对精度和空间有严格要求的应用。

一、产品概述

项目规格
产品名称并行驱动平台
型号PD70S
品牌IKO(日本汤姆逊株式会社)
驱动方式双滚珠丝杠平行驱动
XY方向有效行程±10mm
UV方向有效行程±7mm
XY方向最大速度50mm/s(电机转速3000rpm时)
UV方向最大速度35mm/s(电机转速3000rpm时)
最大有效载荷质量5kg(工作台中心)
重复定位精度±0.002mm

二、工作原理

通过控制两根平行滚珠丝杠的旋转方向实现XY运动:

  • X方向移动:P1轴和P2轴同方向旋转

  • Y方向移动:P1轴和P2轴反方向旋转

  • 对角线移动:仅旋转P1轴或P2轴

  • 圆弧运动:组合上述动作可实现

*从滚珠丝杠侧观察电机本体时,正向旋转为顺时针(向右)旋转。

三、核心特点

独特的并行驱动结构:采用IKO结构,两根滚珠丝杠平行排列,通过机构将线性运动转换为XY运动,实现低矮外形。

超高重复定位精度:重复定位精度±0.002mm,满足精密定位需求。

无移动电机/电缆设计:电机固定不动,不随工作台移动,无需拖链,工作区域不受限制。

低矮外形:电机并联布置,实现远低于传统堆叠XY平台的极低截面高度。

免维护导轨:线性导轨部分采用免维护的C型润滑导轨,结构紧凑,经久耐用。

自由工作区域:电机固定设计使得工作区域不受限制,设备设计高度灵活。

四、与传统XY平台对比

对比项PD70S并行驱动平台传统堆叠XY平台
电机位置固定(不随工作台移动)随工作台移动
电缆布线固定布线需拖链
外形高度极低较高
工作区域不受限制受电机/电缆移动范围限制
重复定位精度±0.002mm取决于各轴精度叠加
维护性外部易于接近受限

五、典型应用场景

应用领域具体用途
半导体制造晶圆精密定位
电子元件组装高精度贴装、对准
光学设备精密光路调整
精密测量高精度XY定位
医疗设备精密样品定位
自动化设备受限空间内的精密定位

六、使用注意事项

  • 实际最高速度需考虑电机特性、负载条件等因素

  • 双滚珠丝杠的同步控制需要专用控制器

  • X方向移动需两轴同向旋转,Y方向移动需两轴反向旋转

  • 最大有效载荷质量为5kg(工作台中心)

  • 可根据需求定制尺寸和规格,欢迎咨询

池田屋表示,IKO PD70S并行驱动平台凭借±0.002mm超高重复定位精度、独特的双丝杠并行驱动结构及低矮外形设计,可满足半导体制造、电子元件组装等精密定位需求。



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